氦檢儀怎么選，這取決于客戶的需求：應(yīng)用類型：(例如：生產(chǎn)，維護(hù)等)-干式/傳統(tǒng)的油泵?性能：(進(jìn)入檢漏模式所需要的時(shí)間，靈敏度，響應(yīng)時(shí)間，恢復(fù)時(shí)間，初抽的能力)。重量以及大小。氦氦檢儀的性能衡量，主要是通過以下參數(shù)：初抽的能力：(m3/h)，檢測允許的較大進(jìn)氣口壓力：(mbar)，進(jìn)入檢測模式所需要的時(shí)間：(s)，氦抽速：(l/s))靈敏度，較低可測的氦信號(hào)：(mbar.l/s)，響應(yīng)時(shí)間：(s)，恢復(fù)時(shí)間：(s)，初抽能力：將決定進(jìn)入檢測模式的時(shí)間)將決定是否只使用氦檢儀進(jìn)行檢測就可以(是否需要輔助泵)。檢測允許的較大進(jìn)氣口壓力：〉將決定進(jìn)入檢測模式所需要的時(shí)間。進(jìn)入檢測模式所需要的時(shí)間：是由初抽能力和檢測允許的較大壓力共同決定的。其他可能會(huì)影響檢測時(shí)間的參數(shù)：腔體的脫氣以及非常大的泄漏。氦質(zhì)譜檢漏儀不會(huì)受到主觀因素判斷的影響。分體式氦檢設(shè)備品牌推薦

使用氦檢儀需注意的幾個(gè)問題：(1)檢漏方法的選擇:目前,電廠采用氦檢儀檢漏通常采用負(fù)壓采樣法,該方法操作簡便,但儀器的清理時(shí)間較長。根據(jù)被檢系統(tǒng)的不同也可以采用真空法檢漏,即將氦檢儀的測試口直接接至真空系統(tǒng)的抽氣管道上,通過節(jié)流閥調(diào)節(jié)氣流以衰減氦檢儀與真空系統(tǒng)間的壓差,使氦檢儀正常工作,該方法檢漏效率稍高,但安裝較為復(fù)雜。(2)儀器靈敏度:靈敏度的高低直接影響檢漏的效果。氦檢儀經(jīng)過一段時(shí)間的使用后,靈敏度會(huì)有所下降,嚴(yán)重時(shí)對純氦無反應(yīng)。因此,平時(shí)應(yīng)該經(jīng)常保持儀器,特別是質(zhì)譜室的清潔,定期打開氣鎮(zhèn)閥運(yùn)行一段時(shí)間,并給旋片真空泵換油,這樣可以減少儀器對氦的記憶效應(yīng)。另外還要定期用標(biāo)準(zhǔn)漏孔對儀器的靈敏度進(jìn)行校驗(yàn),使氦檢儀始終保持較佳的工作狀態(tài)。分體式氦檢設(shè)備品牌推薦噴氦法、吸氦法是氦質(zhì)譜檢漏儀在電阻爐檢漏中常用的兩種方法。

如何正確選擇氦檢儀？（1）儀器的功能是否能滿足檢漏的要求，如有些儀器沒有逆流檢漏功能，就不合適正壓法檢漏：有些儀器沒有報(bào)廢漏率的設(shè)置功能，就不宜作為批量產(chǎn)品篩選檢漏用；流水線上要求一定的檢漏速度，因此應(yīng)選擇有雙工位的氦檢儀。（2）儀器的靈敏度是否能滿足檢漏的要求。國內(nèi)外生產(chǎn)的不同類型的氦檢儀的靈敏度是不一樣的，如果檢漏要求的靈敏度較高，就要認(rèn)真選擇。（3）被檢件如果害怕油的污染，被應(yīng)選擇無油真空系統(tǒng)的氦檢儀。（4）被檢件容積如果較大，必須選用預(yù)抽泵抽速答的氦檢儀，否則要另配預(yù)抽泵就比較麻煩。（5）如果被檢對象不固定，體積時(shí)大時(shí)小，靈敏度要求時(shí)高時(shí)低，就要選擇功能較全，靈敏度較高，檢漏范圍寬的氦檢儀。（6）如果檢漏地點(diǎn)不固定，需要經(jīng)常搬運(yùn)儀器時(shí)，就要選擇小型便攜式儀器。（7）在滿足檢漏基本要求的基礎(chǔ)上，還要綜合考慮儀器的價(jià)格是否低、操作是否建議、維修是夠方便等方面的問題。

氦檢儀噪聲是哪兒來的？高靈敏度氦檢儀的噪聲來源大體上可以分為兩種，一個(gè)是離子流接收放大機(jī)輸出電路的噪聲，另一個(gè)就是本底噪聲。實(shí)際上，目前通過對電子線路的改進(jìn)，儀器中離子流接收放大及輸出電路引起的噪聲已經(jīng)降到很低的一個(gè)程度，因此已經(jīng)不是限制設(shè)備靈敏度的主要因素，如果特殊情況下仍然是限制靈敏度的主要因素的話，可以通過放大信號(hào)的辦法來提高信噪比來改善靈敏度。而本底噪聲則是由本底峰的不穩(wěn)定造成，與本底的大小以及電磁場參數(shù)的穩(wěn)定度有關(guān)，具體的包括：1、離子源發(fā)射電子流的不穩(wěn)定性，加速電壓、分析器電磁參數(shù)的不穩(wěn)定性；2、氦氣在真空系統(tǒng)內(nèi)的吸附和再放出（如真空油脂、人造橡膠、有機(jī)絕緣材料都可以吸附和再放出氦氣），電離真空計(jì)特別是磁放電真空計(jì)對氦氣的記憶效應(yīng)（被污染的情況下更為嚴(yán)重）；3、抽氣系統(tǒng)中氦氣的反擴(kuò)散與對氦氣抽速的不穩(wěn)定性；4、氦檢儀本身漏氣和氦氣的滲透；5、殘余氣體分子對氦離子的散射等等。這些因素對本底噪聲及靈敏度的影響都很大。氦檢儀選擇無毒、無破壞性、質(zhì)量輕的惰性氣體氦作為探索氣體，所以安全可靠。

氦檢儀漏率的校準(zhǔn)方法：一、環(huán)境條件，校準(zhǔn)環(huán)境溫度為(23±5)℃，校準(zhǔn)過程中室溫變化不超過±1℃，環(huán)境相對濕度不大于80%。校準(zhǔn)設(shè)備周圍應(yīng)無明顯的溫差、氣流和強(qiáng)電磁場等外部干擾。環(huán)境溫度較好控制在23℃附近，因?yàn)闃?biāo)準(zhǔn)漏孔的出廠標(biāo)稱漏率對應(yīng)的環(huán)境溫度一般為23℃。二、標(biāo)準(zhǔn)器的選擇，標(biāo)準(zhǔn)器采用滲氦型標(biāo)準(zhǔn)漏孔，漏率標(biāo)稱值在(10-6～10-10)Pa·m3/s，不確定度不大于10%。精密玻璃溫度計(jì)，測量范圍(0～50)℃，不確定度U=0.04℃，k=2。氦質(zhì)譜檢漏儀的的可檢漏率為10-12Pa·m3/s。氦氣檢測機(jī)價(jià)錢

氦檢儀檢漏范圍寬：不只可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。分體式氦檢設(shè)備品牌推薦

氦檢儀現(xiàn)已普遍應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備檢漏。半導(dǎo)體設(shè)備及材料需要檢漏原因：1、半導(dǎo)體設(shè)備要求高真空，比如磁控濺射臺(tái)、電子束蒸發(fā)臺(tái)、ICP、PECVD等設(shè)備。出現(xiàn)泄漏就會(huì)導(dǎo)致高真空達(dá)不到或需要大量的時(shí)間，耗時(shí)耗力；2、在高真空環(huán)境潔凈度高、水蒸氣很少。一旦出現(xiàn)泄漏周圍環(huán)境中的灰塵和懸浮顆粒或塵埃就會(huì)對晶元造成污染，對半導(dǎo)體的特性改變并破壞其性能，因此在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中必須進(jìn)行氦質(zhì)譜檢漏；3、一些半導(dǎo)體設(shè)備要用到有毒或有腐蝕性的特殊氣體，經(jīng)過氦質(zhì)譜檢漏后，在低漏率真空條件下，這些氣體不易外泄，設(shè)備能及時(shí)抽走未反應(yīng)氣體和氣態(tài)反應(yīng)產(chǎn)物，保障工作人員安全和大氣環(huán)境。4、芯片封裝，一旦出現(xiàn)泄漏，芯片就會(huì)失效。綜上所述，氦檢儀在半導(dǎo)體行業(yè)起著至關(guān)重要的作用。分體式氦檢設(shè)備品牌推薦

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