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國產(chǎn)氦檢儀售后服務

來源: 發(fā)布時間:2023-05-21

氦檢儀有漏率靈敏度參數(shù),它是儀器在出廠時經(jīng)過校準的在較佳條件下所能實現(xiàn)的儀器靈敏度,但平常實際使用時其靈敏度是低于該參數(shù)的,稱之為檢漏靈敏度。然后在具體檢漏過程中,氦檢儀的檢漏方法也較多,有噴吹法、氦罩法、檢漏盒法、充壓法、吸嘴法、累積檢漏法、背壓法、選擇性抽氣法、逆流氦檢漏法等眾多形式,可結合實際情況靈活運用。如較簡單常用的噴吹法,與鹵素氦檢儀的真空法類似,將被檢件抽真空,調(diào)整好氦檢儀并與被檢件連通,隨后用噴頭在可疑處噴吹氦氣,如果存在漏洞,噴吹一定時間后,氦檢儀即可發(fā)出信號。氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種,一種為常規(guī)檢漏,另一種為逆擴散檢漏。國產(chǎn)氦檢儀售后服務

氦檢儀的型號較多,但基本結構大同小異。它主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)及電氣部分組成。質(zhì)譜室:不同類型的氦檢儀的質(zhì)譜室結構大同小異,都是由離子源、分析器和收集器三部分組成,它們放在一個抽成高真空的質(zhì)譜室外殼中。1)離子源。離子源的作用是使氣體分子電離,形成一束具有一定能量的離子。它由燈絲(陰極)、離化室及離子加速極組成。2)分析器。分析器作用是使不同質(zhì)荷比的離子按不同軌跡運動,從而將它們彼此分開,只使氦離子通過其出口隙縫。分析器由一個外加均勻磁場及一個出口電極組成,磁場方向與離子束入射方向垂直。3)收集極。收集極是對準出口電極狹縫安裝的,其作用是收集穿過出口電極狹縫的氦離子并通過一個電阻輸入到小電流放大器進行離子流的放大和測量。由于氦離子一般只有10-13~10-12A,要使小電流放大器第1極輸入信號電壓足夠大,則輸入電阻必需很大(一般高于1010歐),第1級放大用的靜電計管必須要高度絕緣,所以把高阻及靜電計管放在高真空的質(zhì)譜室中。全自動氦氣檢測儀價錢氦檢儀是磁偏轉型的質(zhì)譜分析計。

氦檢儀機械泵故障及處理:1、機械泵不動作,檢查項目有:氦檢儀電源電壓是否正常,開關是否打開,繞組是否斷路或接地,電機是否過熱(泵冷卻后是否能啟動)。2、機械泵聲音異常,檢查油位是否合適,油質(zhì)是否變壞,油溫是否<10℃,油霧過濾器的出口有無氣體排出(如果無氣體排出,更換油霧過濾器)。氦檢儀質(zhì)譜室故障及處理:1、燈絲無法正常啟動,在確認機械泵、分子泵處于正常工作狀態(tài)后,若燈絲仍無法發(fā)射離子流,則需要更換離子源。若燈絲指示燈閃爍,檢查離子源航空插座與接線柱是否開路,若開路,需要更換燈絲,若不開路,檢查其接線柱與其他接頭是否導通,消除短路現(xiàn)象。2、本底信號處于雜亂無章的波動狀態(tài)且大小遠遠超過氦檢儀故障自身的本底噪聲,需要考慮放大器是否故障。質(zhì)譜室出現(xiàn)故障一般用戶無法解決,只需對故障進行定位,交由維修處理。

氦檢儀現(xiàn)已普遍應用于半導體設備檢漏。半導體設備及材料需要檢漏原因:1、半導體設備要求高真空,比如磁控濺射臺、電子束蒸發(fā)臺、ICP、PECVD等設備。出現(xiàn)泄漏就會導致高真空達不到或需要大量的時間,耗時耗力;2、在高真空環(huán)境潔凈度高、水蒸氣很少。一旦出現(xiàn)泄漏周圍環(huán)境中的灰塵和懸浮顆?;驂m埃就會對晶元造成污染,對半導體的特性改變并破壞其性能,因此在半導體器件生產(chǎn)過程中必須進行氦質(zhì)譜檢漏;3、一些半導體設備要用到有毒或有腐蝕性的特殊氣體,經(jīng)過氦質(zhì)譜檢漏后,在低漏率真空條件下,這些氣體不易外泄,設備能及時抽走未反應氣體和氣態(tài)反應產(chǎn)物,保障工作人員安全和大氣環(huán)境。4、芯片封裝,一旦出現(xiàn)泄漏,芯片就會失效。綜上所述,氦檢儀在半導體行業(yè)起著至關重要的作用。氦檢儀整機由微機控制,菜單選擇功能,一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。

氦檢儀怎么選,這取決于客戶的需求:應用類型:(例如:生產(chǎn),維護等)-干式/傳統(tǒng)的油泵?性能:(進入檢漏模式所需要的時間,靈敏度,響應時間,恢復時間,初抽的能力)。重量以及大小。氦氦檢儀的性能衡量,主要是通過以下參數(shù):初抽的能力:(m3/h),檢測允許的較大進氣口壓力:(mbar),進入檢測模式所需要的時間:(s),氦抽速:(l/s))靈敏度,較低可測的氦信號:(mbar.l/s),響應時間:(s),恢復時間:(s),初抽能力:將決定進入檢測模式的時間)將決定是否只使用氦檢儀進行檢測就可以(是否需要輔助泵)。檢測允許的較大進氣口壓力:〉將決定進入檢測模式所需要的時間。進入檢測模式所需要的時間:是由初抽能力和檢測允許的較大壓力共同決定的。其他可能會影響檢測時間的參數(shù):腔體的脫氣以及非常大的泄漏。高靈敏度氦檢儀的噪聲來源大體上可以分為兩種,一個是離子流接收放大機輸出電路的噪聲,另一個是本底噪聲。自動氦檢機廠家

氦質(zhì)譜檢漏儀具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的優(yōu)點。國產(chǎn)氦檢儀售后服務

氦檢儀靈敏度降低應該如何維護?當發(fā)現(xiàn)氦檢儀的靈敏度降低,而氦檢儀的工作真空度狀態(tài)良好,放大器的各級工作電壓也符合標準要求,就基本上可以確定氦檢儀靈敏度降低的問題來源于離子源的質(zhì)譜分析管受到了嚴重污染。這個時候,就需要將氦檢儀的離子源分析管道拆下來進行徹底的清洗。具體的清洗方法如下:先用細的高標號金相砂紙小心細致地擦洗分析管道的內(nèi)表面及離子源各電極部件,這里不能用粗砂紙,因為粗砂紙容易損傷真空分析管道及離子源的各電極部件;然后用航空汽油和無水乙醇清洗,并用去離子水沖洗干凈;較后用烘箱或電吹風進行干燥。整個清洗過程中需要注意,分析管道上的磁鐵不能撞擊、不能受熱,否則可能導致磁鐵退磁,使氦檢儀的靈敏度降低。如果操作正確,經(jīng)過清洗維護后的氦檢儀的靈敏度可比清洗前提高2~3倍。國產(chǎn)氦檢儀售后服務

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