檢漏儀的檢漏原理：利用氦氣是比氫氣小的第二輕的惰性氣體，氦氣在自然狀態(tài)下會(huì)向上垂直擴(kuò)散，在被檢測(cè)的管道中注入氦氣。如果這些設(shè)備有漏點(diǎn)，那么我們就能通過監(jiān)測(cè)儀器探測(cè)到有氦氣在管道外部。這就是管道中氦氣檢漏的方法。對(duì)于一些高精尖的細(xì)小電子元件，氦氣怎么檢漏呢？將要檢測(cè)的元件放入充滿氦氣的容器中并且加壓。在壓力的作用下，如果這些元件存在漏點(diǎn)，必然會(huì)有氦氣通過 這些小孔進(jìn)入到元件內(nèi)部。使用壓縮空氣將元件表面的少量殘留氦氣吹掃干凈之后，再利用質(zhì)譜儀檢測(cè)元件表面泄露的氦氣。檢漏儀在我國更多真空設(shè)備的檢查之中得到了普遍的應(yīng)用。浙江小型檢漏儀一臺(tái)多少錢
檢漏儀系統(tǒng)對(duì)密封容器的使用性能有什么幫助？密封容器的泄漏率是否符合要求，直接關(guān)系到容器的使用性能。準(zhǔn)確發(fā)現(xiàn)漏孔和定量檢測(cè)對(duì)保證容器的密封性、可靠性和安全性至關(guān)重要。尋找快速、靈敏、高效的泄漏檢測(cè)方法是真空設(shè)備制造商的共同愿望。在泄漏檢測(cè)方法中，氦質(zhì)譜法因其高靈敏度和穩(wěn)定性而得到越來越普遍的應(yīng)用。傳統(tǒng)的泄漏檢測(cè)系統(tǒng)包括設(shè)備多、體積大、重量大、移動(dòng)困難、集成氦質(zhì)譜泄漏檢測(cè)裝置。適用于泄漏檢測(cè)過程中不可缺少但泄漏檢測(cè)工作量小的現(xiàn)場安裝環(huán)境。全套氦質(zhì)譜檢漏工作臺(tái)系統(tǒng)主要包括操作平臺(tái)、檢漏儀、氦氣瓶、顯示儀表及真空泵，該系統(tǒng)包含設(shè)備多、體積大、重量大：而容器在制造及裝配過程中涉及到檢漏的工序。進(jìn)口檢漏儀檢漏儀是利用氦氣作為示漏氣體，用氣體分析儀對(duì)氦氣進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。
檢漏儀的基本原理與結(jié)構(gòu)：檢漏儀一般由質(zhì)譜管，真空系統(tǒng)和電子系統(tǒng)組成。其中質(zhì)譜管包括離子源，質(zhì)量分析器和離子檢測(cè)器; 真空系統(tǒng)一般由分子泵、機(jī)械泵、電磁閥和真空計(jì)組成。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并聚焦成束，以一定能量注入分析器，目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。分析器的作用起將各類離子按其質(zhì)荷比的不同實(shí)現(xiàn)分離。離子檢測(cè)器的作用是手機(jī)質(zhì)量分析器所選定的氦離子流并加以放大，再通過比對(duì)運(yùn)算，得出泄漏率，真空系統(tǒng)的作用是獲取質(zhì)譜過程所需的真空，同時(shí)完成被檢件的抽空和氦氣的引入。真空系統(tǒng)一般由分子泵、機(jī)械泵、電磁閥和真空計(jì)組成組成。按照真空系統(tǒng)的不同結(jié)構(gòu)，檢漏儀分為常規(guī)系統(tǒng)和逆擴(kuò)散兩種。常規(guī)系統(tǒng)多用于早期的檢漏儀，該種檢漏儀的被檢件與高真空部分直接相通，由被檢件泄入的氮?dú)馐紫鹊竭_(dá)質(zhì)譜管被檢到，因而具有較高的靈敏度，但是會(huì)對(duì)質(zhì)譜管有污染。逆擴(kuò)散系統(tǒng)檢漏儀與常規(guī)系統(tǒng)相比，被檢件只與低真空相通，因此只需將被檢工件抽至低真空就能進(jìn)行檢漏，氦氣是逆擴(kuò)散到質(zhì)譜管，不會(huì)對(duì)系統(tǒng)有污染，因此被普遍采用，已成為市場的主流產(chǎn)品。
檢漏儀的噪聲主要來源于電路噪聲和本底噪聲，目前設(shè)備電子線路和電子元件的改進(jìn)，使得電路噪聲已經(jīng)降得很低，因此檢漏儀的本底噪聲成為影響設(shè)備性能的主要因素。而其本底噪聲的產(chǎn)生主要是由于本底峰的不穩(wěn)定造成的，主要形成的原因包括：一、離子源中的發(fā)射電流、加速電壓以及分析器的電磁參數(shù)不穩(wěn)定。二、真空油脂、橡膠材料、有機(jī)絕緣材料都可吸附和再釋放出氦氣，而電離規(guī)，特別是磁放電真空規(guī)對(duì)氦有記憶效應(yīng)，其表面污染時(shí)就更為嚴(yán)重。三、抽氣系統(tǒng)中抽速不穩(wěn)定和氦的反擴(kuò)散。四、檢漏儀中空氣的本底影響。五、殘余氣體分子對(duì)離子的散射作用。六、燈絲和其他電極受機(jī)械振動(dòng)引起的效應(yīng)。檢漏儀其本身擁有著強(qiáng)力的檢測(cè)靈敏度可以精確的定位。
檢漏儀真空度不能提高的幾個(gè)潛在原因：檢漏儀的真空度抽不上去，首先確定是不是真的真空抽不上去，因?yàn)橐灿锌赡苁钦婵沼?jì)指示不對(duì)。真空計(jì)故障，如冷規(guī)的陽極和陰極短路，就會(huì)造成真空抽不上去的假象。這種情況，只要更換一個(gè)新的真空計(jì)，即可使檢漏儀恢復(fù)正常工作。檢漏儀的真空系統(tǒng)某部分出現(xiàn)了漏氣。檢漏儀自身產(chǎn)生漏氣的情況大多是由于儀器在進(jìn)行大拆卸情況下重新安裝后，某個(gè)連接處沒有擰緊而產(chǎn)生。如果是這種情況，較好是用分段查找的辦法，將整個(gè)真空系統(tǒng)分隔成幾段，一段一段地查找。先查機(jī)械真空泵有沒有問題，再查機(jī)械泵到擴(kuò)散泵或分子泵之間，較后再查擴(kuò)散泵（或分子泵）以上部分。如果漏隙小，儀器還能基本工作的話，可以用儀器自身檢查自身。便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀是一款實(shí)用的檢漏儀。檢漏機(jī)原理
檢漏儀檢漏時(shí)切勿將大量的氦氣通進(jìn)儀器，避免本底太大，難以清理。浙江小型檢漏儀一臺(tái)多少錢
檢漏儀的本底漏率值是什么？底值是指由所處環(huán)境所形成的較穩(wěn)定的輻射水平或聲量，由于氦氣在空氣中的體積含量約為5ppm，5.24×10-6，也就是百萬分之五左右，這說明正?？諝猸h(huán)境中氦氣的含量很小，即氦本底很好。這也是用氦氣作為示蹤氣體的重要原因之一。只有在空氣中含量盡可能少的氣體，才能滿足檢漏靈敏度方面的要求。在材料出氣中也很少，因此本底壓力小，輸出的本底電流也小. 正因?yàn)楸镜仔?，由某些原因引起本底的波?dòng)，亦即本底噪聲也就小，因此微小漏率也就能反應(yīng)出來。本地高一般都是泄漏的原因，建議檢查閥有沒有內(nèi)漏，試試增加清掃氣體的壓力，但是也不能過高，因?yàn)闀?huì)影響抽空效率。另外檢漏時(shí)切勿將大量的氦氣通進(jìn)儀器，避免本底太大，難以清理。浙江小型檢漏儀一臺(tái)多少錢
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