檢漏儀的整體結(jié)構(gòu):一、質(zhì)譜室,形象的說，質(zhì)譜室是檢漏儀的心臟，由離子源、分析器和電氣系統(tǒng)三個部分組成，并將冷陰極磁控規(guī)也放在其內(nèi)，共用其磁場。為了有利于微小的粒子流放大，將一級放大用高阻及靜電計管也放在質(zhì)譜室之內(nèi)。質(zhì)譜室殼由非磁性材料制成，內(nèi)部抽空，而外部設(shè)置成磁鐵形成磁分析器的磁場。二、真空系統(tǒng),真空系統(tǒng)是提供質(zhì)譜室正常工作的條件。由于鎢陰極正常工作時需要具備0.001-0.01Pa的真空度，同時保證氦離子在分析器中的運動有較高的傳輸率，因此建立一個高真空系統(tǒng)是必要的。系統(tǒng)中的節(jié)能閥則是為了滿足質(zhì)譜室工作壓力的調(diào)節(jié)，該閥全開時檢漏靈敏度較高，因此在條件允許情況下開啟大些為宜。檢漏時為了校準(zhǔn)檢漏靈敏度，系統(tǒng)中設(shè)置了標(biāo)準(zhǔn)漏孔。檢漏儀待機時電離室真空度保持在≤3x10-2Pa，燈絲不易被氧化脆斷。池州臺式檢漏設(shè)備

檢漏儀應(yīng)用于調(diào)節(jié)閥氣路管道檢漏：調(diào)節(jié)閥檢漏，閥門氣密性測試方案是向閥門內(nèi)充入設(shè)定壓力的氦氣，如在被檢測處如閥桿等，用檢漏儀正壓法（吸口法）檢測，吸口法檢測的精度可充分滿足氣密性檢測要求。檢漏儀用于調(diào)節(jié)閥的氣路管道進行檢漏, 檢漏標(biāo)準(zhǔn)是漏率小于100ppm或者10-4 至 10-6Pa.m3/s. 同時需要提供快速, 清潔的檢漏環(huán)境. 采用檢漏儀吸口模式, 即在密封的氣體管路中充入一定量的氦氣, 然后進行檢漏。檢漏儀同時擁有兩種檢漏模式真空模式及正壓模式，可根據(jù)客戶不同需求，選擇不同的檢漏方法。閥門多采用檢漏儀的負壓模式既真空模式檢漏，其較小可檢查漏率為5X10-12mbar l/s。銅陵真空檢漏設(shè)備使用中盡量將預(yù)置真空開關(guān)空擋可以有效延長檢漏儀的燈絲壽命。

檢漏儀漏率校準(zhǔn)方法：漏率校準(zhǔn)，①校準(zhǔn)系統(tǒng)的組成校準(zhǔn)系統(tǒng)由標(biāo)準(zhǔn)漏孔、截止閥及需校準(zhǔn)的氫質(zhì)譜檢漏儀組成。②示值誤差通電預(yù)熱,待復(fù)檢漏儀啟動完成后,采用標(biāo)準(zhǔn)漏孔對復(fù)質(zhì)譜檢漏儀進行校準(zhǔn),將一經(jīng)過校準(zhǔn)的標(biāo)準(zhǔn)漏孔接入檢漏儀系統(tǒng)，運行檢漏儀，待漏率示值穩(wěn)定后，可以讀出標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率的檢漏儀示值，同一標(biāo)準(zhǔn)漏孔測量三次，計算檢漏儀示值平均值，從而得到標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率與檢漏儀示值平均值的示值誤差。結(jié)束后，將其他量級的標(biāo)準(zhǔn)漏孔依次按此方法接入檢漏儀系統(tǒng)進行測試，得到檢漏儀在每一量級下漏率的示值誤差。如果測試結(jié)果有較大偏差，可以考慮檢漏儀的自校功能，待完成后，再用標(biāo)準(zhǔn)漏孔進行測試。

檢漏儀的基本原理與結(jié)構(gòu)：檢漏儀一般由質(zhì)譜管，真空系統(tǒng)和電子系統(tǒng)組成。其中質(zhì)譜管包括離子源，質(zhì)量分析器和離子檢測器; 真空系統(tǒng)一般由分子泵、機械泵、電磁閥和真空計組成。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并聚焦成束，以一定能量注入分析器，目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。分析器的作用起將各類離子按其質(zhì)荷比的不同實現(xiàn)分離。離子檢測器的作用是手機質(zhì)量分析器所選定的氦離子流并加以放大，再通過比對運算，得出泄漏率，真空系統(tǒng)的作用是獲取質(zhì)譜過程所需的真空，同時完成被檢件的抽空和氦氣的引入。真空系統(tǒng)一般由分子泵、機械泵、電磁閥和真空計組成組成。按照真空系統(tǒng)的不同結(jié)構(gòu)，檢漏儀分為常規(guī)系統(tǒng)和逆擴散兩種。常規(guī)系統(tǒng)多用于早期的檢漏儀，該種檢漏儀的被檢件與高真空部分直接相通，由被檢件泄入的氮氣首先到達質(zhì)譜管被檢到，因而具有較高的靈敏度，但是會對質(zhì)譜管有污染。逆擴散系統(tǒng)檢漏儀與常規(guī)系統(tǒng)相比，被檢件只與低真空相通，因此只需將被檢工件抽至低真空就能進行檢漏，氦氣是逆擴散到質(zhì)譜管，不會對系統(tǒng)有污染，因此被普遍采用，已成為市場的主流產(chǎn)品。檢漏儀正壓檢漏方法普遍應(yīng)用于正壓檢漏和相對真空泵檢漏兩種方法。

檢漏儀待機時電離室真空度保持在≤3x10-2Pa，燈絲不易被氧化脆斷。在檢漏過程中，當(dāng)出現(xiàn)意外情況，系統(tǒng)突然暴露大氣或真空度突然降低，導(dǎo)致大量的氣體突然進入電離室，真空度≥1x10-1Pa時，燈絲電流急劇增大，燈絲被碳化，就發(fā)生了脆斷現(xiàn)象。檢漏儀燈絲壽命如何延長？由前面分析已知，造成檢漏儀燈絲脆斷的原因：1.真空度低；2.燈絲電流過大；3.對燈絲有害的氣體氣壓太高（氧化性氣體、水蒸氣、氫氣）。那么，在使用中盡量避免燈絲在上述惡劣環(huán)境下長時間開啟，或者說盡量提高燈絲的上述使用條件就可以有效延長檢漏儀的燈絲壽命。如：1.使用中盡量將預(yù)置真空開關(guān)空擋；2.避免電離室泄入有害氣體（氧化性氣體、水蒸氣、氫氣）。檢漏儀一般由質(zhì)譜管，真空系統(tǒng)和電子系統(tǒng)組成。南京多功能檢漏儀價錢

檢漏儀系統(tǒng)對密封容器的使用性能有什么幫助？池州臺式檢漏設(shè)備

檢漏儀內(nèi)部泄漏怎么處理？ 不同的密封部位出現(xiàn)泄漏采用不同的處理方法。①檢漏接口與閥門組塊的連接部位有漏，可先采用灌膠密封處理，若密封性仍不能滿足要求，需從廠家購買新品進行更換。②電磁閥與閥門組塊間的密封圈有漏，則對密封圈進行更換，并先用無水乙醇將密封面、密封圈清洗干凈，且勿在密封圈表面涂抹凡士林或真空脂(這些材料在真空條件下放氣，會影響儀器本底)等密封添加劑。③各零部件間的密封一般也采用橡膠圈密封，若有漏，更換密封圈即可。注意事項同上。④真空計的探針與其外殼間采用密封膠密封，該密封環(huán)節(jié)在檢測時極易被忽視，此處若有漏可先進行灌膠處理，但探針間距很小，可操作空間有限，若灌膠后密封效果不佳，則從廠家購買新品進行更換。池州臺式檢漏設(shè)備

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