壓電納米掃描系統(tǒng)是由精密壓電納米定位臺(tái)與壓電控制器組成，系統(tǒng)可完成單軸或多軸的納米精度的運(yùn)動(dòng)控制。下圖中為芯明天的一款小體積型Z向壓電納米掃描系統(tǒng)。干涉測(cè)量是基于電磁波的干涉理論，通過檢測(cè)相干電磁波的干涉圖樣、頻率、振幅、相位等屬性，將其應(yīng)用于各種相關(guān)測(cè)量的技術(shù)的統(tǒng)稱。用于實(shí)現(xiàn)干涉測(cè)量術(shù)的儀器被稱作干涉儀。在當(dāng)今科研領(lǐng)域、工業(yè)領(lǐng)域等，干涉測(cè)量術(shù)都發(fā)揮著重要作用，包括天文學(xué)、光纖光學(xué)、工程測(cè)量學(xué)等。在干涉測(cè)量中常用的工具是邁克爾遜干涉儀，一般可將相干光源的單條入射光束分成兩條相同的光束。每條光束的傳播路徑（稱為光程）不同，并在到達(dá)探測(cè)器之前重新會(huì)合。每條光束的傳播距離不同使它們之間產(chǎn)生相位差。該相位差形成了可通過探測(cè)器捕獲的干涉條紋。如果單條光束沿兩個(gè)光路分開（測(cè)量光路和參考光路），則利用相位差便可判斷出所有可改變光束相位的因素。 可根據(jù)需求提供或定制微米領(lǐng)域的電動(dòng)手動(dòng)移動(dòng)臺(tái)。納米促動(dòng)器定制

雙軸壓電微掃平臺(tái)帶有一個(gè)中孔，用于安裝透射鏡，是一款面向航天、航空、兵器工業(yè)等應(yīng)用方向產(chǎn)品，采用開環(huán)前饋控制，具有結(jié)構(gòu)緊湊、體積小、運(yùn)動(dòng)范圍大、成本低等特點(diǎn)。主要用于動(dòng)態(tài)穩(wěn)像領(lǐng)域，在移動(dòng)平臺(tái)上，根據(jù)陀螺儀反饋回的速度和加速度信息，在拍攝時(shí)高速沿移動(dòng)平臺(tái)運(yùn)動(dòng)方向反向位移，用以平衡運(yùn)動(dòng)狀態(tài)造成的拖影。雙軸壓電微掃平臺(tái)由疊堆型壓電陶瓷執(zhí)行器提供驅(qū)動(dòng)力，經(jīng)過位移放大機(jī)構(gòu)，柔性機(jī)構(gòu)推動(dòng)透鏡進(jìn)行2X2掃描，由于疊堆型壓電陶瓷執(zhí)行器響應(yīng)速度快，體積小，出力大剛度高，可以根據(jù)控制信號(hào)實(shí)現(xiàn)毫秒級(jí)快速定位響應(yīng)。 電容式位置傳感器精度控制技術(shù)壓電納米定位臺(tái)是通過PZT壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)，但內(nèi)部的驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)會(huì)分為兩種，分別為直驅(qū)式機(jī)構(gòu)與放大式機(jī)構(gòu)。

壓電納米位移臺(tái)斷電時(shí)保持自鎖，從而不消耗能量，不發(fā)熱，可以很好的保持位置的機(jī)械穩(wěn)定性。由壓電馬達(dá)驅(qū)動(dòng)的納米位移臺(tái)一般把馬達(dá)安裝在位移臺(tái)的基座上，而動(dòng)子則是安裝位移臺(tái)滑動(dòng)臺(tái)面部分，壓電驅(qū)動(dòng)納米位移臺(tái)沒有傳統(tǒng)電磁馬達(dá)(伺服或步進(jìn)電機(jī))驅(qū)動(dòng)的位移臺(tái)所需的絲桿或蝸輪蝸桿組部件，是一個(gè)直接驅(qū)動(dòng)，穩(wěn)定性更高，慣性更小，沒有回程間隙和機(jī)械部件之間的空回，響應(yīng)時(shí)間沒有所延遲。壓電陶瓷的形變量小，可以達(dá)到非常高的平臺(tái)位移精度，可以說壓電馬達(dá)驅(qū)動(dòng)的位移臺(tái)是名副其實(shí)的納米位移臺(tái)。

一般來說，機(jī)械設(shè)計(jì)可以在很大程度上滿足剛度和強(qiáng)度的需求，前提是不限制尺寸空間。因此對(duì)于精密儀器的設(shè)計(jì)，楊氏模量和屈服強(qiáng)度的值不如熱性能重要。然而，為了減少環(huán)境的影響，許多精密設(shè)備被刻意設(shè)計(jì)得很小。然后必須仔細(xì)考慮材料的力學(xué)性能。例如，材料的強(qiáng)度可能會(huì)限制柔性機(jī)構(gòu)最大行程；低楊氏模量材料可能無法為納米精度機(jī)械裝置或其框架提供足夠的剛度；硬度可能會(huì)影響機(jī)構(gòu)與其致動(dòng)器之間的接觸剛度，這對(duì)機(jī)械系統(tǒng)的共振頻率有直接影響。此外，材料的質(zhì)量會(huì)對(duì)納米精度機(jī)構(gòu)的動(dòng)態(tài)特性產(chǎn)生很大影響。 “納米定位”則是它的功能，它的移動(dòng)端面可以產(chǎn)生納米級(jí)精度的步進(jìn)運(yùn)動(dòng)。

納米定位平臺(tái)的設(shè)計(jì)從上面的簡(jiǎn)要介紹中可以清楚地看出，為什么只考慮每個(gè)軸的共振頻率無法提供納米定位系統(tǒng)性能的準(zhǔn)確圖片。也正因如此，多數(shù)情況下，只有定制系統(tǒng)才能滿足各個(gè)應(yīng)用程序的特定要求。例如，必須選擇與應(yīng)用相匹配的共振頻率特性的結(jié)構(gòu)材料和平臺(tái)設(shè)計(jì)。此計(jì)算中的一個(gè)關(guān)鍵因素是施加的載荷。這就是為什么我們經(jīng)常在許多數(shù)據(jù)表中關(guān)注負(fù)載性能，因?yàn)檫@個(gè)標(biāo)準(zhǔn)能更好地反映平臺(tái)的實(shí)際用途。一般來說，作用在平臺(tái)上的負(fù)載越大，平臺(tái)的共振頻率就越低。我們的高剛度平臺(tái)意味著共振頻率受負(fù)載變化的影響較小，因此任何動(dòng)態(tài)調(diào)諧對(duì)負(fù)載的變化都不太敏感。 納米位移臺(tái)在生物醫(yī)學(xué)上的應(yīng)用是診斷掃描儀。壓電應(yīng)變式傳感器性能評(píng)估

根據(jù)壓電納米定位臺(tái)的應(yīng)用環(huán)境，它又分為標(biāo)準(zhǔn)版、低溫真空、無磁版本。納米促動(dòng)器定制

三維納米定位臺(tái)使用需要注意哪些細(xì)節(jié)：5.定期維護(hù)和保養(yǎng)：三維納米定位臺(tái)是一個(gè)復(fù)雜的精密設(shè)備，需要進(jìn)行定期的保養(yǎng)和維護(hù)，以確保設(shè)備的正常運(yùn)行和壽命。具體操作包括檢查設(shè)備的清潔度和電氣連接、潤(rùn)滑和調(diào)整各軸向及傳感器等部件、更換和補(bǔ)充配件等等。用戶需要根據(jù)具體的設(shè)備和使用情況，制定相應(yīng)的保養(yǎng)和維護(hù)計(jì)劃，并在必要時(shí)進(jìn)行相應(yīng)的調(diào)整和修理工作。

三維納米定位臺(tái)的應(yīng)用領(lǐng)域：由于具有高精度和靈活性等優(yōu)點(diǎn)，三維納米定位臺(tái)在許多材料表征和精密加工領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用。常見的應(yīng)用領(lǐng)域包括：1.納米級(jí)別物體定位和操控三維納米定位臺(tái)可以實(shí)現(xiàn)亞納米級(jí)別的物體的位置調(diào)整和操控，因此被廣泛應(yīng)用于納米顆粒、微米線、生物大分子等領(lǐng)域的材料表征和研究中。 納米促動(dòng)器定制