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壓電陶瓷驅(qū)動系統(tǒng)

來源: 發(fā)布時間:2024-02-07

壓電納米位移臺斷電時保持自鎖,從而不消耗能量,不發(fā)熱,可以很好的保持位置的機械穩(wěn)定性。由壓電馬達驅(qū)動的納米位移臺一般把馬達安裝在位移臺的基座上,而動子則是安裝位移臺滑動臺面部分,壓電驅(qū)動納米位移臺沒有傳統(tǒng)電磁馬達(伺服或步進電機)驅(qū)動的位移臺所需的絲桿或蝸輪蝸桿組部件,是一個直接驅(qū)動,穩(wěn)定性更高,慣性更小,沒有回程間隙和機械部件之間的空回,響應(yīng)時間沒有所延遲。壓電陶瓷的形變量小,可以達到非常高的平臺位移精度,可以說壓電馬達驅(qū)動的位移臺是名副其實的納米位移臺。 納米定位平臺的材料?壓電陶瓷驅(qū)動系統(tǒng)

掃描電子顯微鏡的納米電子束光刻(EBL)系統(tǒng)。它的主要組成部分包括改進型掃描電子顯微鏡、激光干涉儀控制平臺、多功能高速圖形發(fā)生器和功能齊全、操作簡便的軟件系統(tǒng)。

在電子和電氣制造業(yè)中,光刻技術(shù)是制造無源/有源器件的重要步驟。隨著納米技術(shù)的飛速發(fā)展,納米光刻技術(shù)作為一種重要的納米結(jié)構(gòu)和納米器件制造技術(shù),越來越受到人們的關(guān)注。尤其是電子束光刻技術(shù)(EBL),以其高分辨率和出色的靈活性在納米光刻技術(shù)中發(fā)揮著不可替代的作用。電子束的束斑尺寸可聚焦到小于一個納米,并可生成超高分辨率的圖案。因此,EBL在納米電子學(xué)、納米光學(xué)和其他大多數(shù)納米制造領(lǐng)域都有著巨大的應(yīng)用潛力。 壓電陶瓷驅(qū)動系統(tǒng)北京微納光科儀器(集團)有限公司主要提供《微》《納》《光》《科》四個版塊產(chǎn)品。

壓電納米位移臺的命名是由三部分組成:“壓電”指執(zhí)行器種類,是以PZT壓電陶瓷疊堆作為驅(qū)動源;“納米”指精度等級,移動端面在PZT壓電陶瓷的驅(qū)動下,可以實現(xiàn)納米級精度的步進或連續(xù)運動;“位移系統(tǒng)”指運動方式,其實現(xiàn)的是X、Y、Z向一維或多維的平移運動。壓電納米位移系統(tǒng)是將PZT壓電陶瓷與柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)、金屬殼體結(jié)構(gòu)相結(jié)合,并配備有機械固定安裝接口與負載安裝接口。壓電納米位移系統(tǒng)可直接帶動負載進行微位移調(diào)節(jié),其運動面有螺紋孔用于安裝固定負載。此外,壓電納米位移系統(tǒng)可集成于各類高精密裝備,為其提供納米級運動控制、光路控制等。

壓電位移臺在光纖端面檢測方面的應(yīng)用:近年來,由于光通信技術(shù)飛速發(fā)展,光纖連接器作為光通信基本的光源器件,所以對其質(zhì)量及可靠性有了更嚴格的要求。為了提高光纖連接及光信號傳輸?shù)男?,因此光纖端面的檢測至關(guān)重要。為得到光纖端面的三維參數(shù),通常根據(jù)光學(xué)干涉來進行測量。其中由壓電陶瓷控制器控制的壓電納米定位臺用于移動3D干涉儀系統(tǒng)中的干涉物鏡或光纖連接器以產(chǎn)生位相移動,分5步位相移動,每移動一步后由CCD攝像頭讀取干涉條紋。 根據(jù)壓電納米定位臺的應(yīng)用環(huán)境,它又分為標(biāo)準(zhǔn)版、低溫真空、無磁版本。

北京微納光科儀器(集團)有限公司主要提供《微》《納》《光》《科》四個版塊產(chǎn)品,【實驗室一體化解決方案】的三個版塊《實驗室裝修/凈化/設(shè)計》《實驗室家具》《實驗室儀器設(shè)備》,《無人工廠一體化解決方案》以及《特殊工況下自動化設(shè)備和儀器解決方案》的服務(wù)。主要產(chǎn)品系列有:電控位移臺,手動位移臺,直驅(qū)滑臺轉(zhuǎn)臺,直線電機,相位臺,工業(yè)機械手,KK模組,真空無磁低溫;壓電納米促動器,壓電納米移動臺;光學(xué)冷加工,光學(xué)元器件,光學(xué)鍍膜,光學(xué)調(diào)整架,光纖調(diào)整耦合,晶元檢測,晶元曝光刻蝕半導(dǎo)體設(shè)備,影像測量,機器視覺,圖形圖像處理,光學(xué)分析儀器,光學(xué)檢測/測試儀器;科學(xué)實驗室的設(shè)計裝修,科學(xué)實驗室家具(光學(xué)平臺,大理石平臺,實驗操作臺)自主研發(fā)的科學(xué)實驗室儀器以及代理儀器,科學(xué)實驗室的一體化解決方案。 壓電納米定位臺內(nèi)部采用無摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向機構(gòu),一體化的結(jié)構(gòu)設(shè)計。壓電陶瓷哪家專業(yè)

壓電納米定位臺可集成于各類高精密裝備,為其提供納米級運動控制、光路控制等。壓電陶瓷驅(qū)動系統(tǒng)

納米定位臺是一款精確的定位設(shè)備,它具有許多技術(shù)上的優(yōu)勢,包括創(chuàng)新性、穩(wěn)定性、安全性、擴展性等方面。首先,納米定位臺采用了前沿的納米技術(shù),具有極高的精度和穩(wěn)定性。它能夠精確地定位目標(biāo)物體的位置,達到納米級別的精度,這在許多領(lǐng)域都具有非常重要的應(yīng)用價值。同時,納米定位臺還具有非常高的穩(wěn)定性,能夠在各種復(fù)雜環(huán)境下保持精度和穩(wěn)定性,為用戶提供可靠的定位服務(wù)。其次,納米定位臺具有非常高的安全性。它采用了先進的加密技術(shù),能夠保護用戶的隱私和數(shù)據(jù)安全。同時,納米定位臺還具有非常高的抗干擾能力,能夠在各種復(fù)雜的電磁環(huán)境下正常工作,為用戶提供安全可靠的定位服務(wù)。納米定位臺還具有非常高的擴展性。它可以與各種不同的設(shè)備和系統(tǒng)進行集成,為用戶提供更加系統(tǒng)的定位服務(wù)。同時,納米定位臺還具有非常高的可定制性,能夠根據(jù)用戶的需求進行定制,為用戶提供更加個性化的定位服務(wù)??傊?,納米定位臺是一款非常合適的定位設(shè)備,具有許多技術(shù)上的優(yōu)勢。它能夠為用戶提供精確、穩(wěn)定、安全、可靠、可擴展的定位服務(wù),為各種領(lǐng)域的用戶提供了非常重要的支持和幫助。 壓電陶瓷驅(qū)動系統(tǒng)