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江西大直徑射頻離子源怎么選

來源: 發(fā)布時(shí)間:2023-04-03

【真空鍍膜機(jī)沖洗工藝之反應(yīng)氣體沖洗】這種方法特別適用于da型超高不銹鋼真空系統(tǒng)的內(nèi)部洗(去除碳?xì)浠衔镂廴?。通常對(duì)于某些da型超高真空系統(tǒng)的真空室和真空元件,為了獲得原子態(tài)的清潔表面,消除其表面污染的標(biāo)準(zhǔn)方法是化學(xué)清洗,真空爐焙燒、輝光放電清洗及原能烘烤真空系統(tǒng)等方法。以上的清洗和除氣方法常用于真空系統(tǒng)安裝前及裝配期間。在真空系統(tǒng)安裝后(或系統(tǒng)運(yùn)行后),由于真空系統(tǒng)內(nèi)的各種零部件已經(jīng)被固定,這時(shí)對(duì)它們進(jìn)行除氣處理就很困難,一旦系統(tǒng)受到(偶然)污染(主要是da原子數(shù)的分子如碳?xì)浠衔锏奈廴?,通常要拆卸后重新處理再安裝.而用反應(yīng)氣體工藝,可以進(jìn)行原位在線除氣處理.有效地除去不銹鋼真空室內(nèi)的碳?xì)浠衔锏奈廴?其清洗機(jī)理:在系統(tǒng)中引述氧化性氣體(O2、N0)和還原性氣體(H2、NH3)對(duì)金屬表面進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)清洗,消除污染,以便獲得原子態(tài)的清潔金屬表面。表面氧化/還原的速率取決于污染的情況及金屬表面的材質(zhì),表面反應(yīng)速率的da小通過調(diào)整反應(yīng)氣體的壓力和溫度來控制。對(duì)于每一種基材而言,精確的參數(shù)要通過實(shí)驗(yàn)來確定.對(duì)于不同的結(jié)晶取向,這些參數(shù)是不同的。真空鍍膜機(jī)該如何維修。江西大直徑射頻離子源怎么選

直流電源電壓紋波做了二次濾波處理,高壓輸出的紋波小于50mV,離子源束流的穩(wěn)定性和重復(fù)性較好,鍍膜的產(chǎn)品的折射率更穩(wěn)定。國泰真空射頻離子源采用通用的LC高頻諧振原理,使用可調(diào)電容快速調(diào)諧,使整個(gè)負(fù)載阻抗匹配到50?,從而使功率輸出比較大,電離化效率比較高,調(diào)諧馬達(dá)采用步進(jìn)電機(jī)轉(zhuǎn)位+編碼器快速定位,并帶鎖止和記憶功能,以滿足負(fù)載在不同的真空環(huán)境、不同國泰射頻離子源采用通用的LC高頻諧振原理,使用可調(diào)電容快速調(diào)諧,使整個(gè)負(fù)載阻抗匹配到50?,從而使功率輸出比較大,電離化效率比較高,調(diào)諧馬達(dá)采用步進(jìn)電機(jī)轉(zhuǎn)位+編碼器快速定位,并帶鎖止和記憶功能,以滿足負(fù)載在不同的真空環(huán)境、不同阻抗快速點(diǎn)火。天津離子束刻蝕射頻離子源制造生產(chǎn)廠家廣東真空鍍膜機(jī)廠家。

【射頻離子源工作原理】:氣體通過一個(gè)專門設(shè)計(jì)的氣體絕緣器進(jìn)入石英放電室,13.56mhz的射頻功率通過電感耦合進(jìn)入放電室離化氣體。在產(chǎn)生plasma后、用柵網(wǎng)構(gòu)成的加速系統(tǒng)將離子引出。初,離子被帶正電的Screen Grid集中、接下來加負(fù)電壓的加速柵網(wǎng)將離子束引出。被引出的離子形成離子束,向靶標(biāo)輻射。離子所帶有的能量是由Screen grid的正電壓和Accelerator grid所加的負(fù)電壓大小所決定。離子源設(shè)備能促進(jìn)光電產(chǎn)業(yè)升級(jí),在國內(nèi)也是一項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)。具有能量高、熱輻射低、工作時(shí)間長(zhǎng)、對(duì)膜層污染小、能量分布均勻性好、適應(yīng)多種工作氣體的特點(diǎn)。

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【真空鍍膜之陽極氧化】陽極氧化:主要是鋁的陽極氧化,是利用電化學(xué)原理,在鋁和鋁合金的表面生成一層Al2O3(氧化鋁)膜。這層氧化膜具有防護(hù)性、裝飾性、絕緣性、耐磨性等特殊特性適用材料:鋁、鋁合金等鋁制品工藝成本:生產(chǎn)過程中,水、電的消耗是相當(dāng)da的,特別是在氧化工序。機(jī)器本身的熱耗,需要不停地用循環(huán)水進(jìn)行降溫,噸電耗往往在1000度左右。環(huán)境影響:陽極氧化在能效方面不算出色,同時(shí)在鋁電解生產(chǎn)中,陽極效應(yīng)還會(huì)產(chǎn)生對(duì)da氣臭氧層造成破壞性副作用的氣體。真空鍍膜機(jī)真空度多少?天津離子束刻蝕射頻離子源制造生產(chǎn)廠家

國產(chǎn)真空鍍膜機(jī)哪家好?江西大直徑射頻離子源怎么選

【真空鍍膜技術(shù)專業(yè)詞匯】真空鍍膜vacuumcoating:在處于真空下的基片上制取膜層的一種方法?;瑂ubstrate:膜層承受體。試驗(yàn)基片testingsubstrate:在鍍膜開始、鍍膜過程中或鍍膜結(jié)束后用作測(cè)量和(或)試驗(yàn)的基片。鍍膜材料coatingmaterial:用來制取膜層的原材料。蒸發(fā)材料evaporationmaterial:在真空蒸發(fā)中用來蒸發(fā)的鍍膜材料。濺射材料sputteringmaterial:有真空濺射中用來濺射的鍍膜材料。膜層材料(膜層材質(zhì))filmmaterial:組成膜層的材料。蒸發(fā)速率evaporationrate:在給定時(shí)間間隔內(nèi),蒸發(fā)出來的材料量,除以該時(shí)間間隔濺射速率sputteringrate:在給定時(shí)間間隔內(nèi),濺射出來的材料量,除以該時(shí)間間隔。沉積速率depositionrate:在給定時(shí)間間隔內(nèi),沉積在基片上的材料量,除以該時(shí)間間隔和基片表面積。鍍膜角度coatingangle:入射到基片上的粒子方向與被鍍表面法線之間的夾角。江西大直徑射頻離子源怎么選

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