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安徽偉創(chuàng)真空鍍膜設備有限公司

來源: 發(fā)布時間:2023-08-14

【真空鍍膜設備的分類】:這個問題如果在十年之前,其實是很容易回答的,就是兩個大類,物理沉積設備和化學沉積設備?,F(xiàn)在這樣回答也是沒錯的,但現(xiàn)在再這樣回答就沒辦法把事情說清楚了,所以從應用領域上可以分成以下幾類:傳統(tǒng)光學器件(鏡片,濾光片)所用的鍍膜設備:單腔體或多腔體蒸發(fā)式鍍膜設備,濺射式鍍膜設備。新材料領域的柔性設備:卷對卷柔性鍍膜設備。光通訊行業(yè):離子束濺射鍍膜設備。半導體及相似工藝:化學氣相沉積設備。功能膜:多弧離子鍍設備,濺射設備,蒸發(fā)設備玻璃工藝:濺射式連續(xù)線其余的就得歸到“工藝定制設備”這個范圍里面了,例如車燈鍍膜設備,太陽能的共蒸發(fā)設備,光纖鍍膜設備,太陽能管設備等等真空鍍膜設備技術教程。安徽偉創(chuàng)真空鍍膜設備有限公司

【磁控濺射鍍膜的歷史】: 磁控濺射技術作為一種十分有效的薄膜沉積方法,被普遍地應用于許多方面,特別是在微電子、光學薄膜和材料表面處理等領域。1852年Grove首ci描述濺射這種物理現(xiàn)象,20世紀40年代濺射技術作為一種沉積鍍膜方法開始得到應用和發(fā)展。60年代后隨著半導體工業(yè)的迅速崛起,這種技術在集成電路生產(chǎn)工藝中,用于沉積集成電路中晶體管的金屬電極層,才真正得以普及和guang泛的應用。磁控濺射技術出現(xiàn)和發(fā)展,以及80年代用于制作CD的反射層之后,磁控濺射技術應用領域得到極大地擴展,逐步成為制造許多產(chǎn)品的一種常用手段。 【磁控濺射原理】: 電子在電場的作用下加速飛向基片的過程中與氬原子發(fā)生碰撞,電離出大量的氬離子和電子。氬離子在電場作用下加速轟擊靶材,濺射出大量的靶原子,靶原子沉積在基片表面形成膜。二次電子受到磁場影響,被束縛在靶面的等離子體區(qū)域,二次電子在磁場作用下繞靶面做圓周運動,在運動過程中不斷和氬原子發(fā)生撞擊,電離出大量氬離子轟擊靶材。 【磁控濺射優(yōu)缺點】: 優(yōu)點:工藝重復性好,薄膜純度高,膜厚均勻,附著力好。 缺點:設備結構復雜,靶材利用率低。山東真空鍍膜設備類型電子束蒸發(fā)真空鍍膜設備是什么?

【真空鍍膜產(chǎn)品常見不良分析及改善對策之破邊、炸裂】:一般的鍍膜會對基片加熱,由于基片是裝架在金屬圈、碟內,由于鏡圈或碟片與鏡片(基片)的熱膨脹系數(shù)不一致,冷卻過程中會造成鏡片的破便或炸裂。有些大鏡片,由于出罩時的溫度較高,與室溫的溫差較大,鏡片的熱應力作用造成鏡片炸裂或破邊。有些零件邊緣倒邊的形狀容易造成卡圈而破邊。改善對策:1.夾具(鏡圈、碟片)的設計,在尺寸配合上要合理,充分考慮制造誤差帶來的影響。2.注意鏡圈、碟片的變形,已經(jīng)變形的夾具不能使用。3.選用合適的夾具才來哦(非導磁材料、不生銹、耐高溫不變性),不銹鋼較為理想(熱變形系數(shù)?。?,就是加工難度大,價格貴。4.對于大鏡片應降低出罩時的溫度,減少溫差,防止炸裂。5.如果時鏡圈,可以考慮在鏡圈上開槽,作為緩沖!

【光譜分光不良的補救(補色)之機器故障和人為中斷】:分光不良分為二種情況:一是全部膜系鍍制完成后,經(jīng)測試分光不良,此類不良主要按六節(jié)所述方法處理,一般減反膜難以補救。但對于高反膜、帶通濾光膜等可以通過加層的方法補救。二是鍍制中途中斷(包括發(fā)現(xiàn)錯誤中斷)造成的分光不良,一般都可以通過后續(xù)努力補救。后續(xù)方法正確,補救成功率比較高。中斷的原因形式之機器故障和人為中斷:模擬:根據(jù)已經(jīng)實鍍的鏡片(測試比較片)實測分光數(shù)據(jù)輸入計算機膜系設計程序的優(yōu)化目標值,再根據(jù)已經(jīng)掌握的膜系信息輸入,采用倒推法逐層優(yōu)化,模擬出實際鍍制的膜系數(shù)據(jù)。*測試比較片是指隨鏡片一起鍍制(在傘片上、與鏡片同折射率),用于測試鍍后分光曲線的平片。優(yōu)化:再鎖定通過模擬得到的膜系數(shù)據(jù),通過后續(xù)層膜厚優(yōu)化找到實現(xiàn)目標的Zui佳方案。試鍍:根據(jù)新優(yōu)化的后續(xù)膜層數(shù)據(jù),試鍍若干鏡片或測試片,確認補色膜系的可行性。補色鍍:對試鍍情況確認后實施補色鍍。補色鍍前,確認基片是否潔凈,防止產(chǎn)生其他不良。真空鍍膜設備使用時,需要注意哪些問題?

【真空鍍膜設備的分類】: 這個問題如果在十年之前,其實是很容易回答的,就是兩個大類,物理沉積設備和化學沉積設備?,F(xiàn)在這樣回答也是沒錯的,但現(xiàn)在再這樣回答就沒辦法把事情說清楚了,所以從應用領域上可以分成以下幾類: 傳統(tǒng)光學器件(鏡片,濾光片)所用的鍍膜設備:單腔體或多腔體蒸發(fā)式鍍膜設備,濺射式鍍膜設備。 新材料領域的柔性設備:卷對卷柔性鍍膜設備。 光通訊行業(yè):離子束濺射鍍膜設備。 半導體及相似工藝:化學氣相沉積設備。 功能膜:多弧離子鍍設備,濺射設備,蒸發(fā)設備 玻璃工藝:濺射式連續(xù)線 其余的就得歸到“工藝定制設備”這個范圍里面了,例如車燈鍍膜設備,太陽能的共蒸發(fā)設備,光纖鍍膜設備,太陽能管設備等等 真空鍍膜設備培訓資料。安徽偉創(chuàng)真空鍍膜設備有限公司

真空鍍膜設備為什么會越來越慢?安徽偉創(chuàng)真空鍍膜設備有限公司

【真空鍍膜電子束蒸發(fā)法】: 電子束蒸發(fā)法是將蒸發(fā)材料放入水冷銅坩鍋中,直接利用電子束加熱,使蒸發(fā)材料氣化蒸發(fā)后凝結在基板表面形成膜,是真空蒸發(fā)鍍膜技術中的一種重要的加熱方法和發(fā)展方向。電子束蒸發(fā)克服了一般電阻加熱蒸發(fā)的許多缺點,特別適合制作熔點薄膜材料和高純薄膜材料。 【真空鍍膜激光蒸發(fā)法】: 采用激光束蒸發(fā)源的蒸鍍技術是一種理想的薄膜制備方法。這是由于激光器是可以安裝在真空室之外,這樣不但簡化了真空室內部的空間布置,減少了加熱源的放氣,而且還可完全避免了蒸發(fā)氣對被鍍材料的污染,達到了膜層純潔的目的。此外,激光加熱可以達到極高的溫度,利用激光束加熱能夠對某些合金或化合物進行快速蒸發(fā)。這對于保證膜的成分,防止膜的分餾或分解也是極其有用的。激光蒸發(fā)鍍的缺點是制作大功率連續(xù)式激光器的成本較高,所以它的應用范圍有一定的限制,導致其在工業(yè)中的guang泛應用有一定的限制。安徽偉創(chuàng)真空鍍膜設備有限公司

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