【真空鍍膜機沖洗工藝之反應氣體沖洗】這種方法特別適用于da型超高不銹鋼真空系統(tǒng)的內部洗(去除碳氫化合物污染)。通常對于某些da型超高真空系統(tǒng)的真空室和真空元件,為了獲得原子態(tài)的清潔表面,消除其表面污染的標準方法是化學清洗,真空爐焙燒、輝光放電清洗及原能烘烤真空系統(tǒng)等方法。以上的清洗和除氣方法常用于真空系統(tǒng)安裝前及裝配期間。在真空系統(tǒng)安裝后(或系統(tǒng)運行后),由于真空系統(tǒng)內的各種零部件已經被固定,這時對它們進行除氣處理就很困難,一旦系統(tǒng)受到(偶然)污染(主要是da原子數的分子如碳氫化合物的污染),通常要拆卸后重新處理再安裝.而用反應氣體工藝,可以進行原位在線除氣處理.有效地除去不銹鋼真空室內的碳氫化合物的污染.其清洗機理:在系統(tǒng)中引述氧化性氣體(O2、N0)和還原性氣體(H2、NH3)對金屬表面進行化學反應清洗,消除污染,以便獲得原子態(tài)的清潔金屬表面。表面氧化/還原的速率取決于污染的情況及金屬表面的材質,表面反應速率的da小通過調整反應氣體的壓力和溫度來控制。對于每一種基材而言,精確的參數要通過實驗來確定.對于不同的結晶取向,這些參數是不同的。真空鍍膜機使用時,需要注意哪些問題?湖南光纖鍍膜空心陰極霍爾離子源批發(fā)價格
【真空鍍膜設備的正常工作條件】1、環(huán)境溫度:10~30℃2、相對濕度:不da于70%3、冷卻水進水溫度:不高于25℃4、冷卻水質:城市自來水或質量相當的水5、供電電壓:380V,三相50Hz或220V,單相50Hz(由所用電器需要而定),電壓波動范圍342~399V或198V~231V,頻率波動范圍49~51Hz;6、設備所需的壓縮空氣、液氮、冷熱水等壓力、溫度、消耗量均應在產品使用說明書上寫明。7、設備周圍環(huán)境整潔、空氣清潔,不應有可引起電器及其他金屬件表面腐蝕或引起金屬間導電的塵?;驓怏w存在。此外,真空鍍膜設備所在實驗室或車間應保持清潔衛(wèi)生。地面為水磨石或木質涂漆地面、無塵埃。為防止機械泵工作時排出的氣體對實驗室環(huán)境的污染,可采用在泵的排氣口上面裝設排氣管道(金屬、橡膠管)的辦法,將氣體排出室外。四川光學鍍膜空心陰極霍爾離子源價格真空鍍膜機的主要應用。
【真空鍍膜機之卷繞機構設計中應考慮的問題】①提高卷繞速度的問題。卷繞速度即是帶狀基材運動的線速度,它是卷繞機構的一個主要技術指櫟。國內早期鍍膜機卷繞速度只有10m/min,現在也只有80m/min~120m/min,在國外日本的EW系列產品中,其卷繞速度已達到300m/min,德國L.H公司生產的鍍膜機已達到600m/min,可見隨著鍍膜技術的發(fā)展,卷繞速度有待提高。②帶狀基材的線速恒定問題。這一問題也很重要,因為只有卷繞機構保證帶狀基材的線速恒定,才能使基材上鍍層厚度均勻。這一點對制備帶狀基材的功能性膜(如電容器膜)尤為重要。③帶狀基材的跑偏和起褶問題。隨著卷繞速度的提高,帶狀基材在卷繞鍍膜過程中,起褶和發(fā)生偏斜,嚴重時會造成基材的斷裂,使生產中斷,既影響生產效率,又浪費材料。因此,在卷繞機構的設計中應充分考慮這一問題。
【真空鍍膜的分類】真空鍍膜的鍍層結構一般為:基材、底漆、真空膜層、面漆,因靶材理化特性直接決定膜層的特性,根據膜層的導電與否,可分為導電真空鍍膜(VM)和不導電真空鍍膜(NCVM)兩種。VM:一般用在化妝品類、NB類、3C類、汽配類按鍵、裝飾框、按鍵RING類飾品的表面處理,其表面效果與水電鍍相媲美,靶材一般為鋁、銅、錫、金、銀等。NCVM:具有金屬質感、透明,但不導電,一般用在通訊類、3C類對抗擾要較高的機殼、裝飾框、按鍵件、RING類飾品的表面處理,其表面效果為水電鍍不可取代,靶材一般為銦、銦錫。三、擴散泵連續(xù)使用6個月以上,抽的速度會顯然變慢,當操作不當應拆去聯結水管,卸下電爐盤,將一級噴嘴擰出,先用汽油將泵腔及泵膽清洗一遍,再用洗衣粉兌水清洗一遍,然后用清水徹底清洗干凈,待水份揮發(fā)干以后,裝好泵膽,加入新擴散泵油,并裝回機體,接好水管,裝好電爐盤,便可以重新開機。在重新開機前,要注意檢漏工作。首先啟動維持泵,關好da門,數分鐘后,觀察擴散泵部分真空度是否達到標準,否則要進行檢漏。檢查聯接處的密封圈是否正常。真空鍍膜機真空四個階段。
【真空鍍膜技術專業(yè)詞匯】真空鍍膜vacuumcoating:在處于真空下的基片上制取膜層的一種方法。基片substrate:膜層承受體。試驗基片testingsubstrate:在鍍膜開始、鍍膜過程中或鍍膜結束后用作測量和(或)試驗的基片。鍍膜材料coatingmaterial:用來制取膜層的原材料。蒸發(fā)材料evaporationmaterial:在真空蒸發(fā)中用來蒸發(fā)的鍍膜材料。濺射材料sputteringmaterial:有真空濺射中用來濺射的鍍膜材料。膜層材料(膜層材質)filmmaterial:組成膜層的材料。蒸發(fā)速率evaporationrate:在給定時間間隔內,蒸發(fā)出來的材料量,除以該時間間隔濺射速率sputteringrate:在給定時間間隔內,濺射出來的材料量,除以該時間間隔。沉積速率depositionrate:在給定時間間隔內,沉積在基片上的材料量,除以該時間間隔和基片表面積。鍍膜角度coatingangle:入射到基片上的粒子方向與被鍍表面法線之間的夾角。真空鍍膜機類型推薦。重慶空心陰極霍爾離子源生產廠家
真空鍍膜機詳細鍍膜方法。湖南光纖鍍膜空心陰極霍爾離子源批發(fā)價格
【真空鍍膜機真空系統(tǒng)檢漏法之真空計檢漏法】常用的真空計檢漏法主要是熱傳導真空計法與電離真空計法。以熱傳導真空計法為例,它是利用低壓下不同氣體種類的熱傳導能力差異與壓力的關系來分析真空系統(tǒng)泄漏情況。使用時,要保證被檢系統(tǒng)處于一個壓力不變的動態(tài)平衡狀態(tài),將示漏氣體噴吹于可疑處(也可能用有機溶劑涂抹,但易吸附、堵塞漏孔,并造成污染)。一旦有漏孔存在,示漏氣體會通過漏孔進入被檢系統(tǒng),因為示漏氣體的熱傳導能力與原系統(tǒng)的氣體成分差異da,會引起明顯的熱傳導性質變化,熱傳導真空計的儀表讀數在原有的平衡基礎上就會發(fā)生波動變化,根據這些確定漏孔位置并根據讀數變化換算漏率da小。相應地,電離真空計法利用的即是示漏氣體進入后導致的離子流變化來進行換算。真空系統(tǒng)檢漏中應用真空計檢漏法要考慮示漏氣體種類與真空計的特性的配合,選擇示漏氣體對應的特性差異要明顯有別于原有氣體成分,如熱傳導真空計的熱傳導能力、電離真空計的電離電位。其次為便于準確地觀察前后數據變化,要保證被檢前被檢系統(tǒng)壓力處于穩(wěn)定的平衡狀態(tài),測量的真空計規(guī)管也要處于穩(wěn)定的狀態(tài),防止虛假數據誤導。同時真空計規(guī)管存在惰性,需要觀察足夠的時間。湖南光纖鍍膜空心陰極霍爾離子源批發(fā)價格