本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于：本申請(qǐng)的束徑約束器通過(guò)驅(qū)動(dòng)組件驅(qū)動(dòng)滑環(huán)旋轉(zhuǎn)，以使葉片轉(zhuǎn)動(dòng)來(lái)進(jìn)行光闌的大小調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié)方便且調(diào)節(jié)精度高；而采用包含該束徑約束器的束徑控制裝置進(jìn)行束徑調(diào)節(jié)時(shí)，通過(guò)在控制器上輸入離子束束徑值即可實(shí)現(xiàn)光闌大小的調(diào)節(jié)，無(wú)需關(guān)閉離子源和打開(kāi)真空腔體，調(diào)節(jié)效率高、自動(dòng)化程度好。附圖說(shuō)明圖1為現(xiàn)有技術(shù)中采用曲面柵網(wǎng)調(diào)節(jié)束徑的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為本申請(qǐng)中離子束采用平面柵網(wǎng)的結(jié)構(gòu)示意圖。圖3為本申請(qǐng)中束徑約束器結(jié)構(gòu)示意圖。圖4為圖3的示意圖。圖5為為圖4的進(jìn)一步示意圖。圖6為本申請(qǐng)中的葉片結(jié)構(gòu)示意圖。圖7為本申請(qǐng)中的束徑控制裝置的示意圖。具體實(shí)施方式下面詳細(xì)描述本發(fā)明的實(shí)施例，所述實(shí)施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類(lèi)似的標(biāo)號(hào)表示相同或類(lèi)似的元件或具有相同或類(lèi)似功能的元件。下面通過(guò)參考附圖描述的實(shí)施例是示例性的，*用于解釋本發(fā)明，而不能理解為對(duì)本發(fā)明的限制。如圖3至6所示為本申請(qǐng)的束徑約束器的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖所示，該射頻離子源離子束束徑約束器，包括底座1、多個(gè)葉片2及驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，底座1上設(shè)置有可供離子束穿過(guò)的中空結(jié)構(gòu)11，多個(gè)葉片2設(shè)于底座1一端并環(huán)繞底座1的中空結(jié)構(gòu)11呈圓周排布。真空鍍膜機(jī)類(lèi)型推薦。重慶離子束清洗射頻離子源生產(chǎn)廠(chǎng)家

【真空鍍膜機(jī)真空系統(tǒng)檢漏法之真空計(jì)檢漏法】常用的真空計(jì)檢漏法主要是熱傳導(dǎo)真空計(jì)法與電離真空計(jì)法。以熱傳導(dǎo)真空計(jì)法為例，它是利用低壓下不同氣體種類(lèi)的熱傳導(dǎo)能力差異與壓力的關(guān)系來(lái)分析真空系統(tǒng)泄漏情況。使用時(shí)，要保證被檢系統(tǒng)處于一個(gè)壓力不變的動(dòng)態(tài)平衡狀態(tài)，將示漏氣體噴吹于可疑處（也可能用有機(jī)溶劑涂抹，但易吸附、堵塞漏孔，并造成污染）。一旦有漏孔存在，示漏氣體會(huì)通過(guò)漏孔進(jìn)入被檢系統(tǒng)，因?yàn)槭韭怏w的熱傳導(dǎo)能力與原系統(tǒng)的氣體成分差異da，會(huì)引起明顯的熱傳導(dǎo)性質(zhì)變化，熱傳導(dǎo)真空計(jì)的儀表讀數(shù)在原有的平衡基礎(chǔ)上就會(huì)發(fā)生波動(dòng)變化，根據(jù)這些確定漏孔位置并根據(jù)讀數(shù)變化換算漏率da小。相應(yīng)地，電離真空計(jì)法利用的即是示漏氣體進(jìn)入后導(dǎo)致的離子流變化來(lái)進(jìn)行換算。真空系統(tǒng)檢漏中應(yīng)用真空計(jì)檢漏法要考慮示漏氣體種類(lèi)與真空計(jì)的特性的配合，選擇示漏氣體對(duì)應(yīng)的特性差異要明顯有別于原有氣體成分，如熱傳導(dǎo)真空計(jì)的熱傳導(dǎo)能力、電離真空計(jì)的電離電位。其次為便于準(zhǔn)確地觀(guān)察前后數(shù)據(jù)變化，要保證被檢前被檢系統(tǒng)壓力處于穩(wěn)定的平衡狀態(tài)，測(cè)量的真空計(jì)規(guī)管也要處于穩(wěn)定的狀態(tài)，防止虛假數(shù)據(jù)誤導(dǎo)。同時(shí)真空計(jì)規(guī)管存在惰性，需要觀(guān)察足夠的時(shí)間。江蘇離子束輔助沉積射頻離子源廠(chǎng)家離子真空鍍膜機(jī)是什么？

【真空鍍膜機(jī)清洗工藝之真空加熱清洗】將工件放置于常壓或真空中加熱．促使其表面上的揮發(fā)雜質(zhì)蒸發(fā)來(lái)達(dá)到清洗的目的，這種方法的清洗效果與工件的環(huán)境壓力、在真空中保留時(shí)間的長(zhǎng)短、加熱溫度、污染物的類(lèi)型及工件材料有關(guān)。其原理是加熱工件．促使其表面吸附的水分子和各種碳?xì)浠衔锓肿拥慕馕饔迷鰪?qiáng)。解吸增強(qiáng)的程度與溫度有關(guān)。在超高真空下，為了得到原子級(jí)清潔表面，加熱溫度必高于450度才行．加熱清洗方法特別有效。但有時(shí)，這種處理方法也會(huì)產(chǎn)生副作用。由于加熱的結(jié)果，可能發(fā)生某些碳?xì)浠衔锞酆铣奢^da的團(tuán)粒，并同時(shí)分解成碳渣。

【真空鍍膜機(jī)常見(jiàn)故障】:一、當(dāng)正在鍍膜室真空突然下降1.蒸發(fā)源水路膠圈損壞（更換膠圈）2.坩堝被打穿（更換坩堝）3.高壓電極密封處被擊穿（更換膠圈）4.工轉(zhuǎn)動(dòng)密封處膠圈損壞（更換膠圈）5.預(yù)閥突然關(guān)閉可能是二位五通閥損壞（更換二位五通閥）6.高閥突然關(guān)閉可能是二位五通閥損壞（更換二位五通閥）7.機(jī)械泵停機(jī)可能是繼電器斷開(kāi)（檢查繼電器是否工作正常）8.烘烤引入線(xiàn)電極密封處被擊穿（更換膠圈）9.擋板動(dòng)密封處膠圈損壞（更換膠圈）10.玻璃觀(guān)察視鏡出現(xiàn)裂紋、炸裂（更換玻璃）二、長(zhǎng)期工作的鍍膜機(jī)抽真空的時(shí)間很長(zhǎng)且達(dá)不到工作真空、恢復(fù)真空、極限真空、保真空：1.蒸發(fā)室有很多粉塵（應(yīng)清洗）2.擴(kuò)散泵很久未換油（應(yīng)清洗換油）3.前級(jí)泵反壓強(qiáng)da太機(jī)械泵真空度太低（應(yīng)清洗換油）4.各動(dòng)密封膠圈損壞（更換膠圈）5.由于蒸發(fā)室長(zhǎng)期溫度過(guò)高使其各密封膠圈老化（更換膠圈）6.蒸發(fā)室各引入水路密封處是否有膠圈損壞（更換膠圈）7.各引入座螺釘、螺母有無(wú)松動(dòng)現(xiàn)象（重新壓緊）8.高低預(yù)閥是否密封可靠（注油）真空鍍膜機(jī)日常怎么維護(hù)？

【真空鍍膜設(shè)備設(shè)計(jì)原則及常用技術(shù)指標(biāo)】真空設(shè)備設(shè)計(jì)原則：(1)先功能，后結(jié)構(gòu)。先給出指標(biāo)參數(shù)、生產(chǎn)要求、功能；(2)先核xin后輔助。由內(nèi)向外。先決定靶尺寸、靶基距；(3)先局部，后整體。再由整體，定局部。(4)先設(shè)計(jì)，后校核。由粗到細(xì)。鍍膜機(jī)常用技術(shù)指標(biāo)：鍍膜方法：CVD，PVD（蒸發(fā)、濺射、離子鍍、復(fù)合鍍）；被鍍工件的形狀、尺寸;工件架尺寸;真空室尺寸;生產(chǎn)方式:連續(xù)、半連續(xù)、周期式。生產(chǎn)周期。生產(chǎn)量。生產(chǎn)速率。技術(shù)參數(shù);設(shè)備極限真空度、工作本底真空度工作真空度、工作氣氛;漏率、抽空時(shí)間、恢復(fù)真空時(shí)間。工作(烘烤)溫度;(熱處理爐、凍干機(jī))膜厚不均勻程度;功率;高電壓。真空鍍膜機(jī)故障維修技巧有哪些？北京離子束輔助沉積射頻離子源自主研發(fā)設(shè)計(jì)生產(chǎn)

真空鍍膜機(jī)國(guó)內(nèi)有哪些產(chǎn)商？重慶離子束清洗射頻離子源生產(chǎn)廠(chǎng)家

    本發(fā)明的另一目的在于提供一種便于進(jìn)行束徑調(diào)節(jié)的束徑控制裝置。本發(fā)明的另一目的還在于提供一種束徑控制方法。為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案為：一種射頻離子源離子束束徑約束器，其特征在于：所述束徑約束器包括具有可供離子束穿過(guò)的中空結(jié)構(gòu)的底座、多個(gè)葉片及驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)；所述多個(gè)葉片設(shè)于底座一端并環(huán)繞中空結(jié)構(gòu)呈圓周排布，多個(gè)葉片的尾端伸入中空結(jié)構(gòu)所在區(qū)域以圍合形成可供離子束穿過(guò)的光闌，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)可驅(qū)動(dòng)葉片的尾端相對(duì)葉片排布形成的圓周中心運(yùn)動(dòng)以調(diào)節(jié)光闌大小。進(jìn)一步的，所述葉片的首端與底座的對(duì)應(yīng)端面轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述葉片的尾端沿葉片排布形成的圓周周向依次疊放并斜向伸入所述中空結(jié)構(gòu)所在區(qū)域以形成所述光闌；所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括滑環(huán)及驅(qū)動(dòng)滑環(huán)繞滑環(huán)中心旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)組件，所述滑環(huán)位于多個(gè)葉片的遠(yuǎn)離底座的一側(cè)并與多個(gè)葉片排布形成的圓周同軸設(shè)置，滑環(huán)旋轉(zhuǎn)時(shí)帶動(dòng)葉片的尾端繞葉片的首端轉(zhuǎn)動(dòng)以實(shí)現(xiàn)光闌大小調(diào)節(jié)。進(jìn)一步的，所述葉片呈與多個(gè)葉片排布形成的圓周同向彎曲的圓弧狀。進(jìn)一步的，所述底座的所述一端端面上設(shè)有多個(gè)呈圓周布置的定位孔，所述葉片的首端靠近底座的一側(cè)面上設(shè)有可伸入定位孔中轉(zhuǎn)動(dòng)的固定軸。進(jìn)一步的。重慶離子束清洗射頻離子源生產(chǎn)廠(chǎng)家