【真空鍍膜之磁控濺射】在陰極靶表面形成一正交電磁場,在此區(qū)電子密度高,進而提高離子密度,使得濺鍍率提高(一個數(shù)量級),濺射速度可達0.1—1um/min膜層附著力較蒸鍍佳,是目前實用的鍍膜技術(shù)之一。其它有偏壓濺射、反應(yīng)濺射、離子束濺射等鍍膜技術(shù)濺鍍機設(shè)備與工藝濺鍍機由真空室,排氣系統(tǒng),濺射源和控制系統(tǒng)組成。濺射源又分為電源和濺射qiang(sputtergun)。磁控濺射qiang分為平面型和圓柱型,其中平面型分為矩型和圓型,靶材料利用率30-40%,圓柱型靶材料利用率>50%濺射電源分為:直流(DC)、射頻(RF)、脈沖(pulse),直流:800-1000V(Max)導(dǎo)體用,須可災(zāi)弧。射頻:13.56MHZ,非導(dǎo)體用。脈沖:泛用,新發(fā)展出真空鍍膜機的產(chǎn)業(yè)集群。湖北真空鍍膜射頻離子源生產(chǎn)廠家
【真空鍍膜的膜層結(jié)構(gòu)分布】基材:ABS、PC、ABS+PC、PP、PPMA、POM等樹脂類均可成型真空電鍍,要求底材為純原料,電鍍級別更佳,不可加再生材;底漆:UV底漆,對基材表面做預(yù)處理,為膜層的附著提供活性界面,底漆厚度一般在5-10um,特殊情況可酌情加厚;膜層:靶材蒸發(fā)的結(jié)果,VM膜層可導(dǎo)電,NCVM鍍層不導(dǎo)電,且抗干擾性效果很好,膜層厚度0.3um以下。面漆:面漆利用三基色原理可與色漿搭配出各類顏色,同時對真空膜層起保護作用,再加上UV、PU的表面裝飾,效果更漂亮,厚度一般在8-10um,特殊情況可酌情加厚。離子束清洗射頻離子源價格射頻離子源可用于制備納米材料、薄膜、光學(xué)器件等高科技產(chǎn)品。
【真空鍍膜機之卷繞式鍍膜機】鍍膜產(chǎn)品廣fan用于裝飾、包裝、電容器等領(lǐng)域中,可鍍光學(xué)、電學(xué)、電磁、導(dǎo)電等多種薄膜。所用基材有PE、PET、PI、PP、OPP、BOPP、紙、泡沫塑料及布等。一般塑料基薄膜材料含水量為1%~2%,紙含水量更da,一般為5%-7%,經(jīng)涂布烘干后,含水量仍有3%。由于基材含水量高,故鍍膜室由初始的單室發(fā)展到目前雙室或多室結(jié)構(gòu)。蒸發(fā)源可以是電阻式、感應(yīng)式、電子柬式以及磁控濺射式。雙室結(jié)構(gòu)應(yīng)用普遍,其優(yōu)點是:①可以蒸鍍放氣量較da的紙基材,并能保障鍍膜質(zhì)量。紙放出的da量氣體從卷繞室中被排走。由于卷繞室與蒸鍍室之間隔板窄縫很小,使放出來的氣體不易進入蒸鍍室中;②單室結(jié)構(gòu)必須配置較da的排氣系統(tǒng)才能保障蒸鍍時的工作壓力,而雙室結(jié)構(gòu)中的蒸鍍室氣體量較小,可配小型抽氣機組,使設(shè)備成本降低,并節(jié)約能源;③卷繞室與蒸鍍室分別抽氣,可縮短抽氣時間。卷繞式真空鍍膜機在結(jié)構(gòu)上除了有一般鍍膜機所有的結(jié)構(gòu)外,必須有一個為了實現(xiàn)連續(xù)鍍膜而設(shè)置的卷繞機構(gòu)。由于被鍍基體是紙或塑料,放氣量較da,因此,在真空室的結(jié)構(gòu)上又有單室和多室之分。
【真空鍍膜機有哪些污染源】真空鍍膜機是由許多精密的零部件所組成的,這些零部件均經(jīng)過許多機械加工流程而制作出來,如焊接、磨、車、刨、鏜、銑等工序。正因為有了這些工作,導(dǎo)致設(shè)備零部件表面不可避免地會沾染一些加工帶來的油脂、油垢、金屬屑、焊劑、拋光膏、汗痕等污染物。這些污染物在真空條件下易揮發(fā),從而對設(shè)備的極限真空造成影響。此外,這些機械加工帶來的真空污染物在da氣壓環(huán)境中吸附da量的氣體,而到了真空狀態(tài)下,這些原先吸附的氣體也會被再次釋放出來,成為限制真空系統(tǒng)的極限真空的一da主要因素。1、真空規(guī)管的燈絲在高溫條件下蒸發(fā),將導(dǎo)致陶瓷絕緣子上形成一層薄膜,對其絕緣強度有一定的損壞,對其測量的準(zhǔn)確性也有一定的影響;2、由于高溫蒸發(fā),會使真空中的電子qiang的燈絲附近表面形成一層金屬膜;3、由于工件濺射,離子束刻蝕設(shè)備的內(nèi)壁會被濺散物所污染;4、真空蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的內(nèi)壁會被其蒸鍍靶材材料污染;5、經(jīng)常使用真空干燥系統(tǒng),該系統(tǒng)會受蒸發(fā)出來的物質(zhì)所污染;6、真空鍍膜設(shè)備中的擴散泵油、機械泵油等更是一da主要污染來源,鍍膜機長期工作后,設(shè)備內(nèi)部可能會形成一層油膜。真空鍍膜機的操作視頻。
【真空鍍膜設(shè)備的維修及保養(yǎng)方法】1.真空鍍膜設(shè)備每完成200個鍍膜程序以上,應(yīng)清潔工作室一次。方法:用燒堿(NaOH)飽和溶液反復(fù)擦洗真空室內(nèi)壁,(注意人體皮膚不可以直接接觸燒堿溶液,以免灼傷)目的是使鍍上去的膜料鋁(AL)與NaOH發(fā)生反應(yīng),反應(yīng)后膜層脫落,并釋放出氫氣。再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽閥內(nèi)的污垢。2.當(dāng)粗抽泵(滑閥泵,旋片泵)連續(xù)工作一個月(雨季減半),需更換新油。方法:擰開放油螺栓,放掉舊油,再將泵啟動數(shù)秒,使泵內(nèi)的舊油完全排放出來。擰回放油螺栓,加入新油至額定量(油視鏡觀察)。連續(xù)使用半年以上,換油時應(yīng)將油蓋打開,用布擦干凈箱內(nèi)污垢。3.在重新開機前,要注意檢漏。方法:啟動維持泵,關(guān)好da門,數(shù)分鐘后,觀察擴散泵部分真空度是否達到6X10帕,否則要進行檢漏。檢查聯(lián)接處是否裝密封膠圈,或壓壞密封圈。排除漏氣隱患后方可加熱,否則擴散泵油會燒環(huán),真空鍍膜設(shè)備無法進入工作狀態(tài)。真空鍍膜機廠家排名。河南真空鍍膜射頻離子源源頭實力廠家
真空鍍膜機大概多少錢一臺?湖北真空鍍膜射頻離子源生產(chǎn)廠家
本發(fā)明涉及離子束濺射鍍膜及超精密拋光技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種射頻離子源離子束束徑約束器、束徑控制裝置及方法。背景技術(shù):離子束超精密加工研究中,離子源起著非常重要的作用。離子源是產(chǎn)生離子束流的裝置,又是離子束設(shè)備中的關(guān)鍵部件。不論是光學(xué)薄膜的制備還是納米尺度的離子束刻蝕和拋光,高性能的離子束流都是不可缺少的。目前采用的離子束源主要有考夫曼離子源、微波ecr離子源和射頻離子源,其工作原理是利用氣體放電產(chǎn)生等離子體,等離子體由電子、離子和中性粒子所組成,并被引出成束,成為離子源。射頻離子源由德國giessen大學(xué),,從電火箭空間應(yīng)用向地面應(yīng)用擴展而來。這種離子源具有結(jié)構(gòu)簡單、無極放電的優(yōu)點,因而對任何氣體特別是反應(yīng)氣體具有長壽命、效率高的特點。采用射頻離子源鍍制的膜層具有吸收少、漂移小、效率高、致密性好、牢固性高等優(yōu)點;同時,射頻離子源離子束拋光在超精密光學(xué)元件的**終加工中應(yīng)用也非常***,是一種去除精度達到原子級別的拋光技術(shù),被認(rèn)為是加工精度**高,修形效果**好的光學(xué)元件修形技術(shù),在此過程中,具有一定能量和空間分布的離子束流轟擊光學(xué)元件表面,利用轟擊時發(fā)生的物理濺射效應(yīng)去除光學(xué)元件表面材料。湖北真空鍍膜射頻離子源生產(chǎn)廠家