電介質(zhì)成千上萬(wàn)的電解質(zhì)薄膜被用于光學(xué),半導(dǎo)體,以及其它數(shù)十個(gè)行業(yè),而Filmetrics的儀器幾乎可以測(cè)量所有的薄膜。測(cè)量范例氮化硅薄膜作為電介質(zhì),鈍化層,或掩膜材料被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)。這個(gè)案例中,我們用F20-UVX成功地測(cè)量了硅基底上氮化硅薄膜的厚度,折射率,和消光系數(shù)。有趣的事,氮化硅薄膜的光學(xué)性質(zhì)與薄膜的分子當(dāng)量緊密相關(guān)。使用Filmetrics專有的氮化硅擴(kuò)散模型,F(xiàn)20-UVX可以很容易地測(cè)量氮化硅薄膜的厚度和光學(xué)性質(zhì),不管他們是富硅,貧硅,還是分子當(dāng)量。不同的 F50 儀器是根據(jù)波長(zhǎng)范圍來(lái)加以區(qū)分的。光刻膠膜厚儀代理價(jià)格
厚度測(cè)量產(chǎn)品:我們的膜厚測(cè)量產(chǎn)品可適用于各種應(yīng)用。我們大部分的產(chǎn)品皆備有庫(kù)存以便快速交貨。請(qǐng)瀏覽本公司網(wǎng)頁(yè)產(chǎn)品資訊或聯(lián)系我們的應(yīng)用工程師針對(duì)您的厚度測(cè)量需求提供立即協(xié)助。單點(diǎn)厚度測(cè)量:一鍵搞定的薄膜厚度和折射率臺(tái)式測(cè)量系統(tǒng)。測(cè)量1nm到13mm的單層薄膜或多層薄膜堆。大多數(shù)產(chǎn)品都有庫(kù)存而且可立即出貨。F20全世界銷量蕞hao的薄膜測(cè)量系統(tǒng)。有各種不同附件和波長(zhǎng)覆蓋范圍。微米(顯微)級(jí)別光斑尺寸厚度測(cè)量當(dāng)測(cè)量斑點(diǎn)只有1微米(μm)時(shí),需要用您自己的顯微鏡或者用我們提供的整個(gè)系統(tǒng)。單層膜膜厚儀半導(dǎo)體行業(yè)采用Michaelson干涉方法,紅外波段的激光能更好的穿透被測(cè)物體,準(zhǔn)確得到測(cè)試結(jié)果。
更可加裝至三個(gè)探頭,同時(shí)測(cè)量三個(gè)樣品,具紫外線區(qū)或標(biāo)準(zhǔn)波長(zhǎng)可供選擇。F40:這型號(hào)安裝在任何顯微鏡外,可提供*小5um光點(diǎn)(100倍放大倍數(shù))來(lái)測(cè)量微小樣品。F50:這型號(hào)配備全自動(dòng)XY工作臺(tái),由8"x8"到18"x18"或客戶提供所需尺寸均可。通過(guò)快速掃瞄功能,可取得整片樣品厚度分布情況(mapping)。F70:瑾通過(guò)在F20基本平臺(tái)上增加鏡頭,使用Filmetrics*新的顏色編碼厚度測(cè)量法(CTM),把設(shè)備的測(cè)量范圍極大的拓展至。F10-RT:在F20實(shí)現(xiàn)反射率跟穿透率的同時(shí)測(cè)量,特殊光源設(shè)計(jì)特別適用于透明基底樣品的測(cè)量。PARTS:在垂直入射光源基礎(chǔ)上增加70o光源,特別適用于超薄膜層厚度和n、k值測(cè)量。**膜厚測(cè)量?jī)x系統(tǒng)F20使用F20**分光計(jì)系統(tǒng)可以簡(jiǎn)便快速的測(cè)量厚度和光學(xué)參數(shù)(n和k)。您可以在幾秒鐘內(nèi)通過(guò)薄膜上下面的反射比的頻譜分析得到厚度、折射率和消光系數(shù)。任何具備基本電腦技術(shù)的人都能在幾分鐘內(nèi)將整個(gè)桌面系統(tǒng)組裝起來(lái)。F20包括所有測(cè)量需要的部件:分光計(jì)、光源、光纖導(dǎo)線、鏡頭集和和Windows下運(yùn)行的軟件。您需要的只是接上您的電腦。膜層實(shí)例幾乎任何光滑、半透明、低吸收的膜都能測(cè)。包括:sio2(二氧化硅)sinx(氮化硅)dlc(類金剛石碳)photoresist。
F10-RT同時(shí)測(cè)量反射和透射以真空鍍膜為設(shè)計(jì)目標(biāo),F(xiàn)10-RT只要單擊鼠標(biāo)即可獲得反射和透射光譜。只需傳統(tǒng)價(jià)格的一小部分,用戶就能進(jìn)行蕞低/蕞高分析、確定FWHM并進(jìn)行顏色分析??蛇x的厚度和折射率模塊讓您能夠充分利用FilmetricsF10的分析能力。測(cè)量結(jié)果能被快速地導(dǎo)出和打印。包含的內(nèi)容:集成光譜儀/光源裝置FILMeasure8軟件BK7參考材料Al2O3參考材料Si參考材料防反光板鏡頭紙額外的好處:每臺(tái)系統(tǒng)內(nèi)建超過(guò)130種材料庫(kù),隨著不同應(yīng)用更超過(guò)數(shù)百種應(yīng)用工程師可立刻提供幫助(周一-周五)網(wǎng)上的“手把手”支持(需要連接互聯(lián)網(wǎng))硬件升級(jí)計(jì)劃要想成功測(cè)量光刻膠要面對(duì)一些獨(dú)特的挑戰(zhàn), 而 Filmetrics 自動(dòng)測(cè)量系統(tǒng)成功地解決這些問(wèn)題。
接觸探頭測(cè)量彎曲和難測(cè)的表面CP-1-1.3測(cè)量平面或球形樣品,結(jié)實(shí)耐用的不銹鋼單線圈。CP-1-AR-1.3可以抑制背面反射,對(duì)1.5mm厚的基板可抑制96%。鋼制單線圈外加PVC涂層,蕞大可測(cè)厚度15um。CP-2-1.3用于探入更小的凹表面,直徑17.5mm。CP-C6-1.3探測(cè)直徑小至6mm的圓柱形和球形樣品外側(cè)。CP-C12-1.3用于直徑小至12mm圓柱形和球形樣品外側(cè)。CP-C26-1.3用于直徑小至26mm圓柱形和球形樣品外側(cè)。CP-BendingRod-L350-2彎曲長(zhǎng)度300mm,總長(zhǎng)度350mm的接觸探頭。用于難以到達(dá)的區(qū)域,但不會(huì)自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)表面。CP-ID-0to90Deg-2用于食品和飲料罐頭內(nèi)壁的接觸探頭。CP-RA-3mmDia-200mmL-2直徑蕞小的接觸探頭,配備微型直角反射鏡,用來(lái)測(cè)量小至直徑3mm管子的內(nèi)壁,不能自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)表面。CP-RA-10mmHigh-2配備微型直角反射鏡,可以在相隔10mm的兩個(gè)平坦表面之間進(jìn)行測(cè)量。厚度范圍: 測(cè)量從 1nm 到 13mm 的厚度。 測(cè)量 70nm 到 10um 薄膜的折射率。液晶顯示膜厚儀代理價(jià)格
F40-UV范圍:4nm-40μm,波長(zhǎng):190-1100nm。光刻膠膜厚儀代理價(jià)格
F3-CS:快速厚度測(cè)量可選配FILMeasure厚度測(cè)量軟件使厚度測(cè)量就像在平臺(tái)上放置你的樣品一樣容易,軟件內(nèi)建所有常見的電介質(zhì)和半導(dǎo)體層(包括C,N和HT型聚對(duì)二甲苯)的光學(xué)常數(shù)(n和k),厚度結(jié)果會(huì)及時(shí)的以直覺的測(cè)量結(jié)果顯示對(duì)于進(jìn)階使用者,可以進(jìn)一步以F3-CS測(cè)量折射率,F3-CS可在任何運(yùn)行WindowsXP到Windows864位作業(yè)系統(tǒng)的計(jì)算機(jī)上運(yùn)行,USB電纜則提供電源和通信功能.包含的內(nèi)容:USB供電之光譜儀/光源裝置FILMeasure8軟件內(nèi)置樣品平臺(tái)BK7參考材料四萬(wàn)小時(shí)光源壽命額外的好處:應(yīng)用工程師可立刻提供幫助(周一-周五)網(wǎng)上的“手把手”支持(需要連接互聯(lián)網(wǎng))光刻膠膜厚儀代理價(jià)格
岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司是我國(guó)半導(dǎo)體工藝設(shè)備,半導(dǎo)體測(cè)量設(shè)備,光刻機(jī) 鍵合機(jī),膜厚測(cè)量?jī)x專業(yè)化較早的其他有限責(zé)任公司之一,公司位于金高路2216弄35號(hào)6幢306-308室,成立于2002-02-07,迄今已經(jīng)成長(zhǎng)為儀器儀表行業(yè)內(nèi)同類型企業(yè)的佼佼者。岱美中國(guó)致力于構(gòu)建儀器儀表自主創(chuàng)新的競(jìng)爭(zhēng)力,產(chǎn)品已銷往多個(gè)國(guó)家和地區(qū),被國(guó)內(nèi)外眾多企業(yè)和客戶所認(rèn)可。