高純氣體管路設(shè)計(jì)要點(diǎn)：01設(shè)備分布情況，根據(jù)用氣設(shè)備的分布情況嗎，高純氣體的管網(wǎng)大小長(zhǎng)短應(yīng)適宜，不宜過(guò)大或過(guò)長(zhǎng)；宜采用不封閉的環(huán)形管路，在末端連續(xù)不斷排放少量的氣體，以便在管網(wǎng)中總有高純氣體流通，不會(huì)發(fā)生“死空間”引起高純氣體的污染。02減少管路“死區(qū)”，管路中不應(yīng)設(shè)有盲管，減少不流動(dòng)氣體的“死區(qū)”，在特種氣體的儲(chǔ)氣瓶與用氣設(shè)備之間應(yīng)設(shè)吹掃控制裝置、多閥門(mén)控制裝置用以控制各個(gè)閥門(mén)的開(kāi)關(guān)順序、系統(tǒng)吹除，以確保供氣系統(tǒng)的安全、可靠運(yùn)行和防止“死區(qū)”形成而滯留污染物，降低氣體純度。氧氣管道與其它氣體管道可同架敷設(shè)，其間距不得小于0.25m，氧氣管道應(yīng)處于除氫氣管道外的其它管道上。南京醫(yī)院氣體管道設(shè)計(jì)安裝
閥門(mén)的選用： ①高純氣體一般采用手工氬弧焊接和自動(dòng)氬弧焊接，焊接型式通常采用承插焊和對(duì)焊，承插焊的好處在于施焊時(shí)管道的對(duì)中，方便焊接，但缺點(diǎn)是由于管道與承插口之間有間隙，會(huì)存在“死空間’不易將雜質(zhì)吹除，影響高純氣體質(zhì)量。因此對(duì)于要求極為嚴(yán)格的高純氣體來(lái)說(shuō)，應(yīng)采用對(duì)接焊連接并要求內(nèi)表面無(wú)焊縫，即在施工時(shí)不得使用不銹鋼焊絲，利用母材的本身融化填滿焊縫。②高純氣體管道與閥門(mén)等附件連接應(yīng)采用密封不易泄漏的專門(mén)使用接頭予以連接，常用的接頭方式有兩種：分別為VCR（Vacuum Coupling Retainer）和SWG（Swaglok），VCR采用優(yōu)良的金屬墊，利用縱向壓力壓緊，因此泄漏率極低，約為10～9A cc/s，且耐壓較高，常用于氣體雜質(zhì)含量1.0×10－9級(jí)的高純氣輸送系統(tǒng)，而SWG則不如VCR，耐壓較低，基本上這兩種接頭方式的安全性足可代替焊接的方式。南京特殊氣體管道設(shè)計(jì)規(guī)范室內(nèi)氫氣管道不應(yīng)敷設(shè)在地溝內(nèi)或直接埋地，不得穿過(guò)不使用氫氣的房間。
負(fù)壓吸引系統(tǒng)：1負(fù)壓吸引系統(tǒng)由中心吸引站、吸引管道、負(fù)壓吸引終端等組成。吸引系統(tǒng)的負(fù)壓源是中心吸引站的真空泵機(jī)組，通過(guò)真空泵機(jī)組的抽吸使吸引系統(tǒng)管路達(dá)到所需負(fù)壓值，在手術(shù)室、搶救室、醫(yī)治室和各個(gè)病房的終端處產(chǎn)生吸力，提供醫(yī)療使用。2中心吸引站，中心吸引站有真空泵、細(xì)菌過(guò)濾器、控制柜、污物接收器、真空緩沖罐（負(fù)壓罐）組成。真空泵必須有備用，并能自動(dòng)切換。一般醫(yī)用真空泵有往復(fù)式真空泵、液環(huán)（水環(huán)）式真空泵、油潤(rùn)滑滑片式真空泵。往復(fù)式真空泵：價(jià)廉、耐用，但占地大、噪聲大、需用冷卻水，排氣管必須裝消聲器；液環(huán)式真空泵：體積小、噪聲小，但需用補(bǔ)充循環(huán)水。
高純/特種氣體的概念，半導(dǎo)體集成電路制造所需要的高純氣體主要分為兩大類：1.普通氣體：也叫大宗氣體，主要有：H2 、N2 、O2 、Ar 、He等。2.特種氣體：主要指各種摻雜用氣體、外延用氣體、離子注入用氣體、刻蝕用氣體等。氣力輸送設(shè)計(jì)的計(jì)算方法：1、確定各工作參數(shù)。氣力輸送的主要工作參數(shù)包括輸送量、混合比(輸送濃度)和氣流速度等，這些參數(shù)的正確確定，對(duì)氣力輸送系統(tǒng)的選擇和運(yùn)行的經(jīng)濟(jì)性有很大的影響。2、確定各主要部件的型式和結(jié)構(gòu)尺寸，如選用吸送式氣力輸送型式，則要注意吸嘴的選型，繪制出系統(tǒng)示意圖。3、計(jì)算出系統(tǒng)各部分的壓力損失及管道總壓力損失。4、根據(jù)風(fēng)網(wǎng)總風(fēng)量和總壓力損失選擇合適的風(fēng)機(jī)，并計(jì)算風(fēng)機(jī)所需功率配用電機(jī)。氣體管道與設(shè)備的連接段宜采用金屬管道。
管網(wǎng)管道選型因?yàn)閴嚎s空氣輸送過(guò)程中空氣與管壁的摩擦而產(chǎn)生壓力損失，所以空壓機(jī)的出口壓力與終端用氣壓力不等同。此外，輸送管網(wǎng)中的閥門(mén)和彎頭會(huì)造成壓縮空氣的節(jié)流效應(yīng)和和流向的變化而產(chǎn)生壓力損失。由此產(chǎn)生的壓力損失會(huì)轉(zhuǎn)化為熱量，將其轉(zhuǎn)化為直管的壓降可以用以下公式進(jìn)行計(jì)算：壓降 (bar)； qc = 空氣流量, FAD (l/s)；d = 管道內(nèi)徑 (mm)；l = 管道長(zhǎng)度 (m)；p = 初始?jí)毫Γń^壓） bar(a)在計(jì)算壓縮空氣網(wǎng)絡(luò)的不同管路的壓損時(shí)，下表的值可作為允許的壓降的參考值：管網(wǎng)的不同區(qū)塊所需的管道長(zhǎng)度（供氣主管、支管、連接管）如何確定呢？設(shè)計(jì)供氣管管網(wǎng)的比例圖就是很好的辦法。其中管網(wǎng)中的閥門(mén)、彎管、連接處等的等效長(zhǎng)度可用下表進(jìn)行折算。氣體純度大于或等于99.99%的氣體管道宜采用不銹鋼管、銅管或無(wú)縫鋼管。杭州醫(yī)院氣體管道設(shè)計(jì)方案
氧氣管道應(yīng)處于除氫氣管道外的其它氣體管道之上。南京醫(yī)院氣體管道設(shè)計(jì)安裝
制定設(shè)計(jì)方案。在了解實(shí)驗(yàn)室需求的基礎(chǔ)上，設(shè)計(jì)師將制定一個(gè)科學(xué)合理的設(shè)計(jì)方案。首先，需要確定氣體管道的走向和布局，包括管道的長(zhǎng)度、直徑、連接方式等。其次，需要考慮管道的材質(zhì)選擇，如不銹鋼、銅等。還要結(jié)合氣體的特性，考慮是否需要在管道中設(shè)置過(guò)濾器、減壓閥等附件，以確保氣體的純凈度和合適的壓力。進(jìn)行施工。設(shè)計(jì)方案確定后，需要進(jìn)行施工工作。首先，要進(jìn)行管道的布局和標(biāo)注，確定每段管道的具體的位置和連接方式。然后，根據(jù)設(shè)計(jì)方案進(jìn)行管道的焊接、連接等施工工作。在施工中需要嚴(yán)格按照相關(guān)的安全操作規(guī)程進(jìn)行，確保施工過(guò)程的安全和質(zhì)量。南京醫(yī)院氣體管道設(shè)計(jì)安裝
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