物料的性質(zhì)：1、粘附性，實(shí)踐表明，細(xì)粉末或水分多或有明顯帶電性的物料，在設(shè)備和輸料管中粘附嚴(yán)重。對(duì)一般的物料，孔隙率越小，水分越大，附著應(yīng)力越大。為了減少物料的粘附，避免造成輸料管堵塞，通常應(yīng)根據(jù)經(jīng)驗(yàn)選擇合適的氣流速度，同時(shí)將管壁加工光滑，以盡可能降低其危害程度。2、脆性，脆性物料可能在輸送過(guò)程中發(fā)生破碎而影響使用效果，為此，對(duì)輸送風(fēng)速的選擇要格外謹(jǐn)慎。以免物料破碎受損。3、粒度與形狀，一般可通過(guò)目測(cè)將物料分為4類：(1)微細(xì)粉末(50～100μ)(2)粉粒，(3)顆粒(1mm以上)，(4)塊狀或不規(guī)則形狀的物料。將大小不同的物料粒子進(jìn)行粒度分級(jí)時(shí)，一般可用篩分法。我國(guó)常用泰勒標(biāo)準(zhǔn)篩。在選擇氣力輸送系統(tǒng)型式、風(fēng)速、除塵設(shè)備時(shí)，物料的粒度和形狀是重要的參考因素。應(yīng)有可靠的泄漏檢測(cè)系統(tǒng)和應(yīng)急預(yù)案，確保在氣體泄漏時(shí)能夠迅速采取措施。江蘇特殊氣體管道設(shè)計(jì)方案
壓送式，壓送式氣力輸送系統(tǒng)是靠壓氣機(jī)械產(chǎn)生的正壓氣流化輸送管道中進(jìn)行輸送。如圖1.2.2.0所示，物料的輸送過(guò)程是在壓氣機(jī)械的壓氣段一側(cè)完成的。1一回轉(zhuǎn)式供料器；2一羅茨鼓風(fēng)機(jī)；3一料斗；4一輸料管；5一旋風(fēng)分離器；6一料倉(cāng)。該系統(tǒng)具有以下特點(diǎn)：1 適合于大流量、長(zhǎng)距離輸送；2 卸料器結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單；3 能夠防止雜質(zhì)和油、水浸入系統(tǒng)；4 容易造成粉塵外揚(yáng)。壓送式氣力輸送可分為低壓壓送式、中壓壓送式和高壓壓送式三類。1) 低壓壓送式用中速氣流在管路系統(tǒng)中懸浮輸送物料，操作表壓一般為82 kPa以下，較高約達(dá)100 kPa。2) 中壓壓送采用低速氣流，操作表壓可達(dá)310 kPa。3) 高壓壓送也采用低速氣流，操作表壓可達(dá)860 kPa?；旌鲜?，混合式氣力輸送是吸送和壓送兩種方式組合在一起而構(gòu)成的，該系統(tǒng)具有兩者的共同特點(diǎn)，較適宜于長(zhǎng)距離輸送物料。除了以上三種氣力輸送系統(tǒng)外，還有一些特殊類型的氣力輸送系統(tǒng)，如脈沖栓流式、文丘里供料式低壓壓送系統(tǒng)、循環(huán)輸送式、空氣槽等。杭州氨氣氣體管道設(shè)計(jì)服務(wù)商每臺(tái)(組)用氫設(shè)備的支管和氫氣放空管上應(yīng)設(shè)置阻火器。
閥門(mén)的選用： ①高純氣體一般采用手工氬弧焊接和自動(dòng)氬弧焊接，焊接型式通常采用承插焊和對(duì)焊，承插焊的好處在于施焊時(shí)管道的對(duì)中，方便焊接，但缺點(diǎn)是由于管道與承插口之間有間隙，會(huì)存在“死空間’不易將雜質(zhì)吹除，影響高純氣體質(zhì)量。因此對(duì)于要求極為嚴(yán)格的高純氣體來(lái)說(shuō)，應(yīng)采用對(duì)接焊連接并要求內(nèi)表面無(wú)焊縫，即在施工時(shí)不得使用不銹鋼焊絲，利用母材的本身融化填滿焊縫。②高純氣體管道與閥門(mén)等附件連接應(yīng)采用密封不易泄漏的專門(mén)使用接頭予以連接，常用的接頭方式有兩種：分別為VCR（Vacuum Coupling Retainer）和SWG（Swaglok），VCR采用優(yōu)良的金屬墊，利用縱向壓力壓緊，因此泄漏率極低，約為10～9A cc/s，且耐壓較高，常用于氣體雜質(zhì)含量1.0×10－9級(jí)的高純氣輸送系統(tǒng)，而SWG則不如VCR，耐壓較低，基本上這兩種接頭方式的安全性足可代替焊接的方式。
易燃易爆氣體管道設(shè)計(jì)要求：①可燃?xì)怏w的報(bào)警裝置應(yīng)與相應(yīng)的事故排風(fēng)裝置設(shè)電氣連鎖，當(dāng)空氣中的可燃?xì)怏w濃度達(dá)到規(guī)定值時(shí)，事故排風(fēng)裝置自動(dòng)開(kāi)啟，同時(shí)向潔凈廠房的消防安全值班室發(fā)出報(bào)警信號(hào)。②為防止倒流回火應(yīng)在用氣設(shè)備的支管上設(shè)置阻火器，在排入大氣的排氣管道上，為防止排氣時(shí)突遇雷電襲擊阻止火焰蔓延至可燃?xì)怏w管道引發(fā)燃燒爆裂事故，必須在排氣管道上設(shè)置阻火器。③各種可燃?xì)怏w管道系統(tǒng)均應(yīng)設(shè)置能引入氮?dú)獾榷栊詺怏w的接口及相應(yīng)的檢測(cè)口，以便在可燃?xì)怏w供應(yīng)系統(tǒng)使用前后或檢修動(dòng)火前后對(duì)其系統(tǒng)進(jìn)行吹掃置換，但是惰性氣體吹掃接口在正常運(yùn)行中不能與氣體鋼瓶或惰性氣體管道相通，以避免影響氣體質(zhì)量。氣體管道的連接應(yīng)采用焊接或法蘭連接等形式。
助燃?xì)怏w，對(duì)于氧氣或氟系助燃?xì)怏w，只要與油脂類物品接觸，就會(huì)氧化發(fā)熱，以致燃燒爆裂，所以凡是氧氣管道、閥門(mén)或設(shè)備、附件等均應(yīng)禁油，氧氣管道系統(tǒng)應(yīng)采用專門(mén)的禁油閥門(mén)、附件和管材，并在氧氣輸送系統(tǒng)安裝后均應(yīng)按規(guī)定進(jìn)行脫脂處理。為防止由于靜電產(chǎn)生火花引起燃燒爆裂，氧氣管道應(yīng)采取以下措施：①氧氣管道內(nèi)氧氣流速限制：當(dāng)氧氣工作壓力≥10MPa時(shí)，氧氣流速不應(yīng)大于6m/s；當(dāng)工作壓力為0.1～3MPa時(shí)，不應(yīng)大于15m/s；當(dāng)工作壓力≤0.1MPa時(shí)，應(yīng)按其管道允許壓力降確定。②氧氣管道的彎頭、三通等接頭的材質(zhì)選擇、安裝均應(yīng)按規(guī)定進(jìn)行，③氧氣管道應(yīng)采取導(dǎo)除靜電接地措施。在亞微米級(jí)的集成電路生產(chǎn)中，要求供應(yīng)10－9級(jí)的高純氣體。杭州氨氣氣體管道設(shè)計(jì)服務(wù)商
氧氣管道與其它氣體管道可同架敷設(shè)，其間距不得小于0.25m，氧氣管道應(yīng)處于除氫氣管道外的其它管道上。江蘇特殊氣體管道設(shè)計(jì)方案
高純氣體的配管及材質(zhì)，高純氣體管路的設(shè)計(jì)要點(diǎn)：1.對(duì)于不同特性的氣體，要規(guī)劃單獨(dú)的供應(yīng)區(qū)域，一般分為三個(gè)區(qū)：腐蝕性/毒性氣體區(qū)、可燃性氣體區(qū)、惰性氣體區(qū)，將相同性質(zhì)的氣體集中加強(qiáng)管理，可燃性氣體區(qū)要特別規(guī)劃防爆墻與泄漏口，若空間不足，可考慮將惰性氣體放置與毒性/腐蝕性氣體區(qū)。2.管路設(shè)計(jì)需要考慮輸送的距離，距離越長(zhǎng)，成本越高，風(fēng)險(xiǎn)也越高，通常較合理的設(shè)計(jì)流速為20ml/S，可燃性氣體小于10ml/S,毒性/腐蝕性氣體小于8ml/S，在用量設(shè)計(jì)方面，則需要考慮使用點(diǎn)的壓力和管徑大小，前者與氣體特性有關(guān)，后者使用點(diǎn)的管徑一般為1/4”～3/8”。江蘇特殊氣體管道設(shè)計(jì)方案
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