雙層管特種氣體管道施工除應(yīng)符合本標(biāo)準(zhǔn)第 10.6.1條~第 10.6.3條的規(guī)定外，還應(yīng)符合下列規(guī)定：1當(dāng)雙層管焊接施工時(shí)，應(yīng)先實(shí)施內(nèi)管的焊接，并在焊接接頭處應(yīng)安裝滑套；2 當(dāng)雙層管焊接外管及滑套時(shí)，內(nèi)管和外管都應(yīng)充高純氬氣保護(hù)，宜采用自動(dòng)軌道氬弧焊機(jī)焊接；3 內(nèi)管焊接完成后應(yīng)先做壓力試驗(yàn)和氦檢漏，確認(rèn)內(nèi)管無泄漏后，方可焊接外管上的滑套；4 雙層管的內(nèi)管和外管之間應(yīng)安裝彈簧進(jìn)行隔離，內(nèi)管和外管不得直接接觸；5雙套管施工宜采用分段隔絕的方式施工，從氣瓶柜到閥門箱的外層套管不得全部相通。特氣管道安裝的時(shí)候，管子對(duì)口時(shí)應(yīng)檢查平直度，距離接口中心200mm處測(cè)量。鹽城特氣管道安裝工程

管道、管件和閥門應(yīng)在潔凈室內(nèi)進(jìn)行內(nèi)包裝開封檢查，并應(yīng)符合下列規(guī)定：1 管道、管件、閥門應(yīng)有單獨(dú)的內(nèi)包裝，端口均應(yīng)裝有防塵帽；2 管道、管件、閥門檢查后應(yīng)恢復(fù)內(nèi)包裝及防塵帽；3 管道外觀檢查應(yīng)按全數(shù)的5%以上抽查，規(guī)格尺寸、壁厚，圓度、端面平整度等應(yīng)符合產(chǎn)品的技術(shù)要求；4 材質(zhì)檢查宜采用便攜式金屬光譜分析儀檢查，每批每種規(guī)格應(yīng)隨機(jī)抽查5%以上，且不得少于1件，其化學(xué)成分應(yīng)符合材質(zhì)質(zhì)量保證書及相關(guān)要求；5 管道、管件內(nèi)表面粗糙度應(yīng)采用樣品比較法在管道兩端檢查，每批每種規(guī)格應(yīng)隨機(jī)抽查5％以上，且不得少于1件，有不合格時(shí)應(yīng)加倍抽查；6 管道內(nèi)壁平均表面粗糙度Ra及較大表面糙度Rmax應(yīng)滿足設(shè)計(jì)文件的要求。集中供氣特氣管道安裝服務(wù)管道焊接，自動(dòng)焊接試樣制作 根據(jù)焊接工藝評(píng)定和焊接工藝規(guī)程，嚴(yán)格焊接操作。

對(duì)于低蒸汽壓氣體（WF6，DCS，BCl3，C5F8，ClF3等），需要考慮鋼瓶加熱，氣體面板加熱，管道伴熱等。為了精確控制流量，在氣源端一般會(huì)考慮配置高精度的壓力變送器、電子秤、溫控器等。在機(jī)臺(tái)用氣點(diǎn)也都配置了質(zhì)量流量計(jì)，壓力調(diào)節(jié)閥。對(duì)于劇毒、高反應(yīng)性和自燃?xì)怏w，應(yīng)使用雙套管輸送。同時(shí)管道的設(shè)計(jì)要采用零死區(qū)設(shè)計(jì)，即整個(gè)管道系統(tǒng)從氣柜到VMB、從VMB到用氣點(diǎn)，要點(diǎn)對(duì)點(diǎn)，中間不允許有在氣體置換時(shí)有殘留空氣的死角。因此，整個(gè)管路系統(tǒng)中由VMB完成氣體的分配，中間沒有三通。然后管道還要有良好的接地。

大宗特氣供應(yīng)系統(tǒng)（BSGS）采用全自動(dòng)PLC控制器，彩色觸摸屏；氣體面板采用氣動(dòng)閥門和壓力傳感器，可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)切換，自動(dòng)氮?dú)獯祾?，自?dòng)真空輔助放空；多重安全防護(hù)措施，泄漏偵測(cè)，遠(yuǎn)程緊急切斷；專門使用氮?dú)獯祾咂鹪吹鹊?。特種氣體采用單獨(dú)氣源，多用點(diǎn)采用VMB或VMP分路供應(yīng)，VMB或VMP采用支路氣動(dòng)閥，氮?dú)獯祾?，真空輔助排空等。由于BSGS氣源總量大，多采用單獨(dú)的氣體房，單獨(dú)的抽風(fēng)系統(tǒng)。這些工廠的特種氣體的供給，除了普通鋼瓶（50L及以下）包裝的特種氣體外，還有多種類的特種氣體都普遍采用大包裝容器，由此它們被稱為大宗特氣，包括Y-鋼瓶（450L），T-鋼瓶（980L），集裝格（940L），ISO罐（22,500L），魚雷車（13,400L）等。焊接管子對(duì)口必須為正方并緊密連接，在對(duì)口位置所允許的圓角和倒為壁厚的十分之一。

硅烷特氣柜設(shè)計(jì)要求：1、因?yàn)楣柰椋⊿iH4）的危險(xiǎn)性，所以整套系統(tǒng)應(yīng)該配備惰性吹掃裝置，而且應(yīng)該設(shè)置單獨(dú)的惰性氣體鋼瓶（比如高壓N2）進(jìn)行吹掃，不得采用管道氮?dú)獯祾摺?、硅烷（SiH4）與空氣會(huì)自燃，柜內(nèi)應(yīng)配備氣體泄露偵測(cè)器、火焰探測(cè)器等，當(dāng)發(fā)生泄漏時(shí)，能及時(shí)報(bào)警處理，避免更大事故的發(fā)生。3、硅烷系統(tǒng)的排氣管不得接入排風(fēng)系統(tǒng)，硅烷和硅烷混合物排氣系統(tǒng)應(yīng)該單獨(dú)于其它氣體排氣系統(tǒng)。4、如果排氣的硅烷（SiH4）濃度較高時(shí)，應(yīng)采用燃燒式尾氣處理裝置處理后排入大氣。5、由于存在通過系統(tǒng)的固定慣性氣流，要設(shè)有防止回流裝置。6、排氣管應(yīng)采用惰性氣體連續(xù)吹掃，吹掃氣體流速不得小于0.3m/s。管道支架或管卡應(yīng)固定在樓板上或承重結(jié)構(gòu)上。浙江醫(yī)院特氣管道安裝流程

特氣管道安裝時(shí)，根據(jù)不同的管徑和要求設(shè)置管卡或吊架，要求位置準(zhǔn)確，埋設(shè)平整。鹽城特氣管道安裝工程

特氣管道工程安裝注意事項(xiàng)有哪些？1、管道支架制作安裝采用機(jī)械切割，臺(tái)鉆鉆孔，嚴(yán)禁氣割。支吊架要滿焊，安裝采用預(yù)埋板或滿足荷載要求的膨脹螺栓固定，確保牢固可靠。所有支吊架安裝前必須做除銹、涂刷兩遍防銹漆的防腐處理。2、管道連接過程中按圖紙要求設(shè)伸縮節(jié)，設(shè)計(jì)無要求時(shí)，按照規(guī)范要求設(shè)置，管端伸入伸縮節(jié)應(yīng)預(yù)留伸縮間隙：夏季施工預(yù)留：5-10mm;冬季施工預(yù)留：15-20mm 。管材或管件在粘合前應(yīng)將承口和插口的粘結(jié)面擦拭干凈，確保無異物。當(dāng)表面粘有油污時(shí)，應(yīng)采用清潔劑擦凈。鹽城特氣管道安裝工程