設(shè)備材料進(jìn)場(chǎng)驗(yàn)收、焊接樣品鑒定時(shí)，建設(shè)單位技術(shù)人員應(yīng)在場(chǎng)檢驗(yàn)確認(rèn)。主要設(shè)備、材料進(jìn)場(chǎng)驗(yàn)收，氣瓶柜、氣瓶架、閥門箱、閥門盤進(jìn)場(chǎng)驗(yàn)收應(yīng)符合下列規(guī)定：1 外包裝上應(yīng)具有防止傾倒、輕放、防雨標(biāo)識(shí)、防震標(biāo)識(shí)，并應(yīng)完整無損；2 表面應(yīng)平整光潔、色澤一致、無毛刺、無劃痕、無銹蝕、不起鼓；柜體頂部應(yīng)設(shè)抽風(fēng)口，柜門下方應(yīng)設(shè)可調(diào)節(jié)空氣過濾網(wǎng)進(jìn)風(fēng)口；3 面板上應(yīng)有氣體的名稱、化學(xué)式、濃度、化學(xué)性質(zhì)和危險(xiǎn)標(biāo)志的標(biāo)識(shí)，并應(yīng)有管線、閥體及附件相互連接的系統(tǒng)圖；同時(shí)，應(yīng)配有與其對(duì)應(yīng)的操作手冊(cè)；4 內(nèi)部引出的管路和閥件接口應(yīng)用專門使用管帽和堵頭封堵；5 在運(yùn)輸過程中盤面內(nèi)應(yīng)保有不低于0.1MPa(表壓)壓力的氮?dú)猓? 閥門、儀表與面板之間應(yīng)有專門使用閥門支撐件，支撐件材質(zhì)應(yīng)采用不銹鋼；不得將閥門、儀表等直接用螺栓固定在面板上。特種氣體管道的主要施工機(jī)具有:全自動(dòng)軌道焊機(jī)(D100、MIOO等)管道切割機(jī)。南京室內(nèi)特氣管道安裝規(guī)范

特種氣體管道安裝要求說明：1）不銹鋼，合金鋼螺栓和螺母；2）管道設(shè)計(jì)溫度高于50°C或低于0°C;3）室外安裝;4）大氣腐蝕性環(huán)境中或輸送腐蝕性介質(zhì)的管道。合金鋼管道不應(yīng)焊接臨時(shí)支撐物。如有必要，請(qǐng)遵守相關(guān)的焊接規(guī)定。安裝不銹鋼管時(shí)，請(qǐng)勿用鐵工具敲打。對(duì)于法蘭上使用的非金屬墊片，氯離子含量不得超過50ppm；對(duì)于連接到機(jī)器的管道，固定焊縫應(yīng)遠(yuǎn)離機(jī)器。當(dāng)>6000r/min時(shí)，位移值應(yīng)小于0.02mm，速度應(yīng)小于6000r/min，位移值應(yīng)小于0.05mm。管道，法蘭和機(jī)器法蘭應(yīng)保持平行和同軸，允許偏差不得超過設(shè)計(jì)文件或規(guī)定的要求。南京工業(yè)特氣管道安裝行價(jià)當(dāng)管子公稱直徑小于100mm時(shí)，允許偏差為1mm。

供氣系統(tǒng)的選擇：簡(jiǎn)單供氣系統(tǒng)，簡(jiǎn)單供氣系統(tǒng)主要針對(duì)4英寸及以下半導(dǎo)體芯片廠、半導(dǎo)體材料的科研機(jī)構(gòu)以及一些單臺(tái)的工藝設(shè)備等。它們的制程簡(jiǎn)單，通常不需要連續(xù)性供氣，對(duì)氣體供應(yīng)系統(tǒng)的投資預(yù)算低。由于氣體流量小，不經(jīng)常使用，特種氣體氣源多采用普通鋼瓶（<50L）。輸送系統(tǒng)多采用半自動(dòng)氣瓶柜或氣瓶架加簡(jiǎn)單的控制面板；配置繼電器控制，自動(dòng)切換，手動(dòng)吹掃，手動(dòng)放空，有害性氣體配備緊急切斷閥。惰性氣體瓶架則采用全手動(dòng)系統(tǒng)，有些甚至用單瓶系統(tǒng)。所有氣體共用一個(gè)氣體房，甚至沒有氣體房，特氣鋼瓶和輸送系統(tǒng)有時(shí)放在回風(fēng)夾道，或直接放在工藝制造設(shè)備旁邊或隔壁。如果沒有特別危險(xiǎn)氣體一般共用一個(gè)抽風(fēng)系統(tǒng)。簡(jiǎn)單供氣系統(tǒng)通常存在安全隱患。

現(xiàn)場(chǎng)的質(zhì)量管理人員要做好材料的質(zhì)量檢查記錄和每天的施工質(zhì)量檢查記錄，包括管工彎管的質(zhì)量，尺寸是否準(zhǔn)確，管道是否有劃傷，彎頭是不是壓得太扁；拆除包裝的管道，預(yù)制好的管道，管口是不是封好；（管道封口應(yīng)套上管帽，再采用EP管完好的內(nèi)包裝袋割下15-20公分長(zhǎng)套在管口折回后用潔凈膠帶纏好；如果沒有管帽，則采用套一層內(nèi)包裝袋用膠帶封好，然后外面再套一層，也用膠帶封好。）焊工的焊縫是否符合質(zhì)量要求，每個(gè)焊縫都必須仔細(xì)檢查，并作好焊接作業(yè)者和焊接數(shù)量記錄。在管道安裝完成后，進(jìn)行壓力測(cè)試，以確保管道的密封性和耐壓性。

特種氣體采用普通鋼瓶（<50L）供氣。特氣輸送系統(tǒng)采用氣瓶柜。配置全自動(dòng)PLC控制器，彩色觸摸屏；氣體面板采用氣動(dòng)閥門和壓力傳感器，可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)切換，自動(dòng)氮?dú)獯祾?，自?dòng)真空輔助放空；多重安全防護(hù)措施，泄漏偵測(cè)，遠(yuǎn)程緊急切斷；專門使用氮?dú)獯祾咂鹪吹鹊?。VMB采用支路氣動(dòng)閥，氮?dú)獯祾?，真空輔助排空。惰性氣體多采用半自動(dòng)氣瓶架，繼電器控制，自動(dòng)切換，手動(dòng)吹掃，手動(dòng)放空；VMB主管氣動(dòng)閥，氮?dú)獯祾?；支路氣?dòng)閥，氮?dú)獯祾?，真空輔助排空。氣體房和抽風(fēng)系統(tǒng)根據(jù)氣體性質(zhì)進(jìn)行分類。管道水平15°橫放固定傾斜擺放姿勢(shì)進(jìn)行切割及端面處理，并順介質(zhì)下的流方向沖放高純氮?dú)狻Ｄ暇?shí)驗(yàn)室特氣管道安裝參考價(jià)

焊接時(shí)，按要求進(jìn)行內(nèi)充氬保護(hù)，控制氬氣流量大小。南京室內(nèi)特氣管道安裝規(guī)范

這里主要介紹一下在進(jìn)行特種氣體管道安裝時(shí)的行為要求標(biāo)準(zhǔn)。特種氣體管道安裝要求說明：1、不得強(qiáng)力對(duì)中管道，也不能使用加熱管和加偏墊消除接口偏差，錯(cuò)位和不同心。2、連接法蘭時(shí)，應(yīng)保持法蘭之間的平行度，不超過法蘭外徑的1.5％，且不超過2mm，法蘭連接也應(yīng)與管道同心，并應(yīng)保證螺栓自由穿入。法蘭連接應(yīng)使用相同規(guī)格的螺栓，并且安裝方向應(yīng)相同。擰緊螺栓時(shí)，應(yīng)對(duì)稱且均勻地?cái)Q緊螺栓。在滑動(dòng)法蘭的內(nèi)表面進(jìn)行角焊時(shí)，避免飛濺和刮擦。在以下情況之一中，應(yīng)在螺栓和螺母上涂上二硫化鉬潤(rùn)滑脂，石墨油或石墨粉。南京室內(nèi)特氣管道安裝規(guī)范