管材選用及連接,管材:*氧氣管道材料為不銹鋼管、脫氧紫銅管(簡(jiǎn)稱銅管)。*吸引管道材料可采用鍍鋅鋼管。要求高的在病房?jī)?nèi)的支管可采用銅管或不銹鋼管。*壓縮空氣管道材料可采用鍍鋅鋼管。要求高的在病房?jī)?nèi)的支管可采用銅管或不銹鋼管。*氮?dú)?、笑氣、二氧化碳?xì)夤艿啦牧蠟椴讳P鋼管或銅管。連接:鍍鋅鋼管采用螺紋連接,采用聚四氟乙烯填料。不銹鋼管采用氬孤焊、焊接連接。銅管采用釬焊連接;釬料(焊料)可采用低銀焊料或銅磷釬焊料。有接地要求的氣體管道其接地和跨接措施應(yīng)按國(guó)家現(xiàn)行有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。杭州大樓氣體管道設(shè)計(jì)供應(yīng)商
高純/特種氣體的概念,半導(dǎo)體集成電路制造所需要的高純氣體主要分為兩大類:1.普通氣體:也叫大宗氣體,主要有:H2 、N2 、O2 、Ar 、He等。2.特種氣體:主要指各種摻雜用氣體、外延用氣體、離子注入用氣體、刻蝕用氣體等。氣力輸送設(shè)計(jì)的計(jì)算方法:1、確定各工作參數(shù)。氣力輸送的主要工作參數(shù)包括輸送量、混合比(輸送濃度)和氣流速度等,這些參數(shù)的正確確定,對(duì)氣力輸送系統(tǒng)的選擇和運(yùn)行的經(jīng)濟(jì)性有很大的影響。2、確定各主要部件的型式和結(jié)構(gòu)尺寸,如選用吸送式氣力輸送型式,則要注意吸嘴的選型,繪制出系統(tǒng)示意圖。3、計(jì)算出系統(tǒng)各部分的壓力損失及管道總壓力損失。4、根據(jù)風(fēng)網(wǎng)總風(fēng)量和總壓力損失選擇合適的風(fēng)機(jī),并計(jì)算風(fēng)機(jī)所需功率配用電機(jī)。杭州鋁合金氣體管道設(shè)計(jì)要求氫氣、氧氣管道應(yīng)有導(dǎo)除靜電的接地裝置。
醫(yī)用氣體常用參數(shù):常用氣體管徑的選用,氧氣管徑的計(jì)算式:式中:d=0.0188d—— 管道內(nèi)徑(m),v—— 氣體流速(m/s),Q—— 氣體在工作狀態(tài)下的實(shí)際體積流量(m3/h ),Q=Q2—— 自由狀態(tài)下的體積流量(m3/h ),t —— 氣體工作狀態(tài)時(shí)溫度,p —— 氣體工作狀態(tài)時(shí)的盡對(duì)壓力(MPa),氧氣管道中流速較大不應(yīng)超過下表中數(shù)值:氧氣工作壓力 (MPa) 0~0.1 0.1~0.3 0.3~0.6 0.6~1.6 1.6~3.5 >10,氧氣較大流速 (m/s) 20以下 15 12 10 8 4,真空管道管徑:,由于負(fù)壓管道不易方便精確計(jì)算,可參考下表經(jīng)驗(yàn)數(shù)據(jù)選?。海艿拦軓焦浪惚?,管徑 (mm) 15 20 25 32 40 50,吸引嘴數(shù) (個(gè)) 12 21 24 62 84 140。
日本把微電子生產(chǎn)中所采用的氣體,按其不同的品位,具體分為下列幾個(gè)不同的檔次:1.超高純氣體,氣體中雜質(zhì)總含量控制在1ppm以下,水份含量控制在0.2~1ppm。2.高純氣體,氣體中雜質(zhì)總含量控制在5ppm以下,水份含量控制在3 ppm以內(nèi)。3.潔凈氣體,氣體中雜質(zhì)總含量控制在10 ppm以下,對(duì)水份含量未作嚴(yán)格規(guī)定。 上述規(guī)定,都未涉及潔凈度。我們知道集成電路的生產(chǎn),幾乎都是在潔凈環(huán)境中進(jìn)行,是防止塵埃粒子污染微電子產(chǎn)品所必需的。所以,對(duì)潔凈的生產(chǎn)環(huán)境絕不允許采用不潔凈的氣體來破壞,必須使氣體的潔凈度與潔凈環(huán)境保持一致,根據(jù)相關(guān)資料以及近些年公司相關(guān)工程的經(jīng)驗(yàn)進(jìn)行了一些歸納。氫氣和氮?dú)獾臍馄看娣砰g應(yīng)有每小時(shí)不小于三次換氣的通風(fēng)措施。
氣力輸送設(shè)計(jì)的計(jì)算方法,一般設(shè)計(jì)程序,輸送系統(tǒng)的布置。在合理選定氣力輸送系統(tǒng)型式后,便可進(jìn)行系統(tǒng)布置。布置時(shí)可根據(jù)廠房的設(shè)備布置圖,首先確定始點(diǎn)的供料器或吸嘴的位置和終點(diǎn)分離器的位置;其次確定空壓機(jī)和附屬設(shè)備的位置,再確定空氣管和輸送管道的配管、管件和彎管的數(shù)目等。完成布置后,就可以開始進(jìn)行詳細(xì)工程設(shè)計(jì)。在管道布置時(shí),注意減少彎管的數(shù)目,在長(zhǎng)距離輸送時(shí)要注意使每段水平管不宜過長(zhǎng)。通過室外的管段,必要時(shí)需進(jìn)行保溫,以防因溫差懸殊而造成管內(nèi)壁結(jié)露使物料粘壁。在物料輸送管上,不應(yīng)安裝有礙輸送的管件等。高純氣體管道應(yīng)采用承插焊接。杭州鋁合金氣體管道設(shè)計(jì)要求
各種氣體管道應(yīng)設(shè)置明顯標(biāo)志。杭州大樓氣體管道設(shè)計(jì)供應(yīng)商
助燃?xì)怏w:窒息性氣體,此類氣體無色、無臭、低毒性,但是大量窒息性氣體的泄漏或排入大氣中會(huì)使空氣中氧的濃度降低,當(dāng)空氣中的氧濃度低于18%時(shí),人會(huì)感覺到頭暈惡心,甚至?xí)斐芍舷⑺劳?。所以一定要?yán)防氣體的泄漏。在使用場(chǎng)所設(shè)置必要的換氣,及時(shí)將窒息性氣體排至室外。有毒氣體,在使用、貯存有毒氣體的場(chǎng)所應(yīng)設(shè)有可靠的通風(fēng)裝置。和毒氣泄漏報(bào)警裝置一旦空氣中有毒氣體達(dá)到規(guī)定值時(shí),應(yīng)進(jìn)行報(bào)警,同時(shí)自動(dòng)開啟自動(dòng)排氣裝置,有毒氣體在排入大氣前必須經(jīng)過可靠的處理,達(dá)到規(guī)定的無害狀態(tài)后方可排放。此類氣體一遇水就會(huì)顯示強(qiáng)腐蝕性,因此在腐蝕性氣體系統(tǒng)使用前應(yīng)以干燥氮?dú)獾葘?duì)系統(tǒng)設(shè)備、管道進(jìn)行吹掃、干燥,尤其時(shí)高壓儲(chǔ)氣瓶的灌裝口,因環(huán)境空氣中的水分易引起腐蝕必須裝設(shè)氣瓶帽,并在裝氣瓶帽時(shí)使用氮?dú)鈱?duì)灌裝口進(jìn)行充分的干燥。杭州大樓氣體管道設(shè)計(jì)供應(yīng)商