高純氣體管路設(shè)計要點：01輸送系統(tǒng)“分等級”，對高純氣體純度要求不同的用氣設(shè)備，宜采用分等級高純氣體輸送系統(tǒng)；也可采用同等級輸送系統(tǒng)，但是在純度要求高的用氣設(shè)備臨近處設(shè)末端氣體提純裝置。02采樣儀器及“采樣口”，為了檢測高純氣體的純度和雜質(zhì)含量，輸送系統(tǒng)除了設(shè)置必要的連續(xù)檢測儀器，如衡量水含量或者氧雜質(zhì)等分析儀外，還應(yīng)設(shè)置定期取樣用的檢測采樣口，以便按規(guī)定時間進(jìn)行采樣，分析高純氣體中各種雜質(zhì)的含量。03確保氣體純度，在亞微米級的集成電路生產(chǎn)中，要求供應(yīng)10－9級的高純氣體，為了確保末端用氣工藝設(shè)備處的氣體純度，使氣體中的雜質(zhì)含量（包括塵粒）控制在規(guī)定的數(shù)值內(nèi)，一般在設(shè)備前設(shè)置末端純化裝置，或末端高精度氣體過濾器。氣體純度大于或等于99.99%的氣體管道宜采用不銹鋼管、銅管或無縫鋼管。氧氣氣體管道設(shè)計注意事項

中心供氧系統(tǒng)：1醫(yī)院中心供氧系統(tǒng)由中心供氧站、管道、閥門及終端送氧插頭等組成。氧氣氣源集中在中心供氧站，氣源氧氣通過減壓裝置和管道輸送得手術(shù)室、搶救室、醫(yī)治室和各個病房的終端處，供醫(yī)療使用。2中心供氧站，中心供氧站供氧方式有：氧氣瓶組供氧、液氧供氧和液氧與氣瓶組聯(lián)合供氧及制氧機(jī)供氧。氧氣瓶組供氧由高壓氧氣瓶、匯流排、減壓裝置、管道及報警裝置組成。氧氣瓶組供氧匯流排，必須設(shè)兩組（或多組）交替供氧，采用自動或手動切換。氧氣瓶可由散裝或箱式瓶組供給。采用匯流排氣瓶組時氣瓶總數(shù)不得超過20瓶。瓶裝匯流排間地坪應(yīng)與運輸工具高度相適應(yīng)，一般宜高出室外地坪600mm以上。箱式瓶組應(yīng)有防止發(fā)生火花的軌導(dǎo)吊車。南通氣體管道設(shè)計服務(wù)對氫氣和煤氣管道不得采用銅質(zhì)材料，其它氣體管道可采用銅、碳鋼和可鍛鑄鐵等材料。

輔助系統(tǒng)的設(shè)計。氣體柜或控制面板在安裝和運輸?shù)倪^程中由于搬運和震動，閥門、接頭、過濾器等的更換、或其他原因、需要對其重新進(jìn)行高壓氣密性試驗和氦檢，氣體的置換也需要用到高壓氮氣或氦氣，所以特氣柜需設(shè)計接入高壓惰性氣體氦氣或氮氣。一般選擇在特氣房設(shè)置一臺或多臺惰性氣體柜。材料的選擇。特氣管路系統(tǒng)普遍采用316L不銹鋼電解拋光(EP)管道，閥門一般采用高純調(diào)壓閥、隔膜閥、高精密過濾器、(<0.003微米)、VCR接頭等。接觸氣體的管路部件表面粗糙度可控制在5uin。對于某些高腐蝕性的氣體如CL2等，采用經(jīng)過特殊處理的耐腐蝕強的EP管 。

中心供氧系統(tǒng)：1）中壓輸送中心供氧站：0.8~1.0 MPa氧氣經(jīng)過二級減壓后，以0.3~0.5MPa（可調(diào)）送至各醫(yī)療用氧氣終端。根據(jù)病區(qū)的要求，可調(diào)節(jié)末端壓力值，同時中壓輸送氣體，相對管經(jīng)較細(xì)。2）低壓輸送中心供氧站：0.5~0.6 MPa氧氣經(jīng)過氣體閥箱（包括氣體壓力表、氣體壓力接觸器、氣體壓力傳感器及報警控制系統(tǒng)）0.2~0.4 MPa供至各醫(yī)療用氧氣終端。中心供氧系統(tǒng)技術(shù)要求，為保證系統(tǒng)正常供氧，應(yīng)有供氧欠壓報警裝置。當(dāng)供氧系統(tǒng)壓力低于報警壓力時，應(yīng)有聲、光同時報警；聲報警要求在55db(A)噪聲環(huán)境下，在距1.5m范圍內(nèi)可以聽到；氧氣管道須有可靠接地，接地電阻小于100Ω。凡是用氧氣的管道、管件、儀表、閥門和其他一切接觸氧氣的附件都必須事先進(jìn)行脫脂，脫脂后管道用不含油氣體吹干。應(yīng)有適當(dāng)?shù)倪^濾和凈化系統(tǒng)，以除去氣體中的雜質(zhì)和水分。

氣體管道連接規(guī)范：1、氣體管道的連接應(yīng)采用焊接或法蘭連接等形式。氫氣管道不得用螺紋連接。高純氣體管道應(yīng)采用承插焊接。2、氣體管道與設(shè)備、閥門及其他附件的連接應(yīng)采用法蘭或螺紋連接。螺紋接頭的絲扣填料應(yīng)采用聚四氟乙烯薄膜或一氧化鉛、甘油調(diào)合填料。氣體管道設(shè)計安全技術(shù)：1、氣體管道設(shè)計的安全技術(shù)應(yīng)符合下列規(guī)定：2、每臺(組)用氫設(shè)備的支管和氫氣放空管上應(yīng)設(shè)置阻火器。3、各種氣體管道應(yīng)設(shè)置明顯標(biāo)志。4、使用氫氣及可燃?xì)怏w的實驗室應(yīng)設(shè)置報警裝置。5、氣瓶應(yīng)放在主體建筑物之外的氣瓶存放間。對曰用氣量不超過一瓶的氣體，實驗室內(nèi)可放置一個該種氣體的氣瓶，但氣瓶應(yīng)有安全防護(hù)設(shè)施。6、氫氣和氮氣的氣瓶存放間應(yīng)有每小時不小于三次換氣的通風(fēng)措施。采用同等級輸送系統(tǒng)，但是在純度要求高的用氣設(shè)備臨近處設(shè)末端氣體提純裝置。南京定制氣體管道設(shè)計解決方案

對于特殊氣體，如高純氣體，管道內(nèi)部應(yīng)保持高度清潔，防止污染。氧氣氣體管道設(shè)計注意事項

管材選用及連接，管材：*氧氣管道材料為不銹鋼管、脫氧紫銅管（簡稱銅管）。*吸引管道材料可采用鍍鋅鋼管。要求高的在病房內(nèi)的支管可采用銅管或不銹鋼管。*壓縮空氣管道材料可采用鍍鋅鋼管。要求高的在病房內(nèi)的支管可采用銅管或不銹鋼管。*氮氣、笑氣、二氧化碳?xì)夤艿啦牧蠟椴讳P鋼管或銅管。連接：鍍鋅鋼管采用螺紋連接，采用聚四氟乙烯填料。不銹鋼管采用氬孤焊、焊接連接。銅管采用釬焊連接；釬料（焊料）可采用低銀焊料或銅磷釬焊料。氧氣氣體管道設(shè)計注意事項