對(duì)于低蒸汽壓氣體(WF6，DCS，BCl3，C5F8，ClF3等)，需要考慮鋼瓶加熱，氣體面板加熱，管道伴熱等。為了精確控制流量，在氣源端一般會(huì)考慮配置高精度的壓力變送器、電子秤、溫控器等。在機(jī)臺(tái)用氣點(diǎn)也都配置了質(zhì)量流量計(jì)，壓力調(diào)節(jié)閥。對(duì)于劇毒、高反應(yīng)性和自燃?xì)怏w，應(yīng)使用雙套管輸送。同時(shí)管道的設(shè)計(jì)要采用零死區(qū)設(shè)計(jì)，即整個(gè)管道系統(tǒng)從氣柜到VMB、從VMB到用氣點(diǎn)，要點(diǎn)對(duì)點(diǎn)，中間不允許有在氣體置換時(shí)有殘留空氣的死角。因此，整個(gè)管路系統(tǒng)中由VMB完成氣體的分配，中間沒有三通。然后管道還要有良好的接地。當(dāng)管道井、管道技術(shù)層內(nèi)敷設(shè)有氫氣、氧氣和煤氣管道時(shí)，應(yīng)有換氣次數(shù)為每小時(shí)1～3次的通風(fēng)措施。杭州定制氣體管道設(shè)計(jì)公司

儲(chǔ)氣罐選型通常一個(gè)供氣系統(tǒng)都有一個(gè)或多個(gè)儲(chǔ)氣罐。儲(chǔ)氣罐的大小是要匹配空壓機(jī)的氣量大小、控制方式和終端用氣需求的。儲(chǔ)氣罐具有多重功能：如緩沖罐（平衡來自壓縮機(jī)的脈動(dòng)）、冷卻壓縮空氣和除去壓縮空氣中的冷凝水等。所以儲(chǔ)氣罐必須配置冷凝水排放裝置。下面這個(gè)公式可以用于儲(chǔ)氣罐大小的計(jì)算和選型，但該公式只適用于帶有加卸載控制功能的空壓機(jī)系統(tǒng)：儲(chǔ)氣罐容積 (l); qC = 壓縮機(jī) FAD (l/s); p1 = 壓縮機(jī)進(jìn)氣壓力 (bar(a)); T1 = 壓縮機(jī)較大進(jìn)氣溫度 (K); T0 = 儲(chǔ)氣罐中壓縮空氣溫度 (K); (pU -pL) = 加載與卸載之間的設(shè)定壓力差; fmax = 較大負(fù)載頻率 （1循環(huán)/30秒應(yīng)用于阿特拉斯·科普柯壓縮機(jī)）對(duì)于帶有可變速度控制（VSD）的壓縮機(jī)而言，所需的儲(chǔ)氣罐容積會(huì)較大程度上減少。當(dāng)使用上述公式時(shí)，qc應(yīng)視較低速度時(shí)的FAD。杭州定制氣體管道設(shè)計(jì)公司在亞微米級(jí)的集成電路生產(chǎn)中，要求供應(yīng)10－9級(jí)的高純氣體。

氣體管道設(shè)計(jì)規(guī)范?：1、本章規(guī)定適用于壓力不大于0.8MPa的氫氣、氧氣、氮?dú)狻⒚簹?、壓縮空氣和真空等實(shí)驗(yàn)室內(nèi)氣體管道設(shè)計(jì)。2、氣體管道設(shè)計(jì)除應(yīng)按現(xiàn)行的《城鎮(zhèn)燃?xì)庠O(shè)計(jì)規(guī)范》、《工業(yè)企業(yè)煤氣安全規(guī)程》、《氧氣站設(shè)計(jì)規(guī)范》、《氫氣使用安全技術(shù)規(guī)程》等的規(guī)定執(zhí)行外，尚應(yīng)符合本規(guī)范的規(guī)定。3、氫氣、氧氣和煤氣管道以及引入實(shí)驗(yàn)室的各種氣體管道支管宜明敷。當(dāng)管道井、管道技術(shù)層內(nèi)敷設(shè)有氫氣、氧氣和煤氣管道時(shí)，應(yīng)有換氣次數(shù)為每小時(shí)1～3次的通風(fēng)措施。4、按標(biāo)準(zhǔn)單元組合設(shè)計(jì)的通用實(shí)驗(yàn)室，各種氣體管道也應(yīng)按標(biāo)準(zhǔn)單元組合設(shè)計(jì)。

管道吹掃,應(yīng)采用高純氮?dú)猓?9.999%），從氣體入口端向末端進(jìn)行吹掃，現(xiàn)場(chǎng)有時(shí)為了方便和節(jié)約成本，也可采用高純凈的干燥壓縮空氣（lu點(diǎn)為－70℃，無油，經(jīng)過0.01μΜ的高精度氣體過濾器過濾）。沿著氣流的方向用木棒輕輕敲打外壁，每個(gè)閥門應(yīng)反復(fù)開關(guān)幾次后再常開，連續(xù)吹掃至少24h以上。檢查后再進(jìn)行各種純度試驗(yàn)，吹掃完畢應(yīng)及時(shí)貼好標(biāo)簽，標(biāo)簽應(yīng)包括介質(zhì)、流向、顏色等內(nèi)容。醫(yī)療氣體管線供給系統(tǒng)是一個(gè)現(xiàn)代化醫(yī)院重要的且必不可少的組成部分，它包括醫(yī)用氧氣系統(tǒng)、負(fù)壓吸引系統(tǒng)、壓縮空氣系統(tǒng)、笑氣（N2O）、氮?dú)庀到y(tǒng)及二氧化碳系統(tǒng)和中心工作站等。應(yīng)有適當(dāng)?shù)倪^濾和凈化系統(tǒng)，以除去氣體中的雜質(zhì)和水分。

高純氣體的供氣安全，各種特性氣體的使用安全，易燃易爆氣體：此類氣體只要形成了可燃?xì)怏w爆裂混合氣和達(dá)到著火溫度。便會(huì)發(fā)生燃燒爆裂事故因此在可燃?xì)怏w入口處、氣體鋼瓶存放間、潔凈室內(nèi)使用可燃?xì)怏w處、敷設(shè)可燃?xì)怏w的管廊或技術(shù)夾層以及可能聚集可燃?xì)怏w的場(chǎng)所均應(yīng)設(shè)置可燃?xì)怏w報(bào)警裝置。具體要求如下：①可燃?xì)怏w比空氣輕者，報(bào)警裝置設(shè)置在所處場(chǎng)所的頂部。②可燃?xì)怏w比空氣重者，報(bào)警裝置設(shè)置在所處場(chǎng)所的較低處。③可燃?xì)怏w在適當(dāng)?shù)墓艿捞帒?yīng)做接地，但接地電阻應(yīng)符合相關(guān)規(guī)定。氫氣、氧氣管道應(yīng)有導(dǎo)除靜電的接地裝置。浙江實(shí)驗(yàn)室氣體管道設(shè)計(jì)

可采用同等級(jí)輸送系統(tǒng)，但是在純度要求高的用氣設(shè)備臨近處設(shè)末端氣體提純裝置。杭州定制氣體管道設(shè)計(jì)公司

高純/特種氣體的概念，半導(dǎo)體集成電路制造所需要的高純氣體主要分為兩大類：1.普通氣體：也叫大宗氣體，主要有：H2 、N2 、O2 、Ar 、He等。2.特種氣體：主要指各種摻雜用氣體、外延用氣體、離子注入用氣體、刻蝕用氣體等。氣力輸送設(shè)計(jì)的計(jì)算方法：1、確定各工作參數(shù)。氣力輸送的主要工作參數(shù)包括輸送量、混合比(輸送濃度)和氣流速度等，這些參數(shù)的正確確定，對(duì)氣力輸送系統(tǒng)的選擇和運(yùn)行的經(jīng)濟(jì)性有很大的影響。2、確定各主要部件的型式和結(jié)構(gòu)尺寸，如選用吸送式氣力輸送型式，則要注意吸嘴的選型，繪制出系統(tǒng)示意圖。3、計(jì)算出系統(tǒng)各部分的壓力損失及管道總壓力損失。4、根據(jù)風(fēng)網(wǎng)總風(fēng)量和總壓力損失選擇合適的風(fēng)機(jī)，并計(jì)算風(fēng)機(jī)所需功率配用電機(jī)。杭州定制氣體管道設(shè)計(jì)公司