對于低蒸汽壓氣體(WF6，DCS，BCl3，C5F8，ClF3等)，需要考慮鋼瓶加熱，氣體面板加熱，管道伴熱等。為了精確控制流量，在氣源端一般會考慮配置高精度的壓力變送器、電子秤、溫控器等。在機(jī)臺用氣點(diǎn)也都配置了質(zhì)量流量計(jì)，壓力調(diào)節(jié)閥。對于劇毒、高反應(yīng)性和自燃?xì)怏w，應(yīng)使用雙套管輸送。同時(shí)管道的設(shè)計(jì)要采用零死區(qū)設(shè)計(jì)，即整個(gè)管道系統(tǒng)從氣柜到VMB、從VMB到用氣點(diǎn)，要點(diǎn)對點(diǎn)，中間不允許有在氣體置換時(shí)有殘留空氣的死角。因此，整個(gè)管路系統(tǒng)中由VMB完成氣體的分配，中間沒有三通。然后管道還要有良好的接地。管道系統(tǒng)應(yīng)有維護(hù)保養(yǎng)的方便性，包括檢修口、閥門的可訪問性和更換部件的便捷性。杭州特殊氣體管道設(shè)計(jì)施工

壓縮空氣管網(wǎng)設(shè)計(jì)當(dāng)設(shè)計(jì)與確定壓縮空氣網(wǎng)絡(luò)時(shí)，首先需要有管網(wǎng)及用氣系統(tǒng)的設(shè)備列表，所有用氣設(shè)備，和一張標(biāo)明了各用氣點(diǎn)位置的布局圖。用氣點(diǎn)可以按照一定的邏輯進(jìn)行分類編組并由同一供氣支管供氣。當(dāng)然一個(gè)供氣主管路為每個(gè)供氣支管供氣。一個(gè)完整的壓縮空氣管網(wǎng)有四個(gè)主要部分：供氣主管供氣支管設(shè)備連接管管道配件供氣主管把壓縮空氣從壓縮機(jī)房輸送到用氣區(qū)域領(lǐng)域。供氣支管是將主管內(nèi)的空氣引到用氣區(qū)域，設(shè)備連接管將支管與用氣設(shè)備連接起來。江蘇隱藏式氣體管道設(shè)計(jì)流程氣體管道設(shè)計(jì)有很多方面，都有不同的要求，氣體管道敷設(shè)，氣體管道、閥門和附件，氣體管道連接及安全要求。

負(fù)壓吸引系統(tǒng)：系統(tǒng)需設(shè)水分離器，地面必須有排水槽。油潤滑滑片式真空泵：具有空氣冷卻、低噪音、震動少的優(yōu)點(diǎn)。內(nèi)部單向閥保護(hù)吸引系統(tǒng)不被污染，油霧分離器保護(hù)環(huán)境和減少油的損失。由于該設(shè)備是空氣冷卻，設(shè)備機(jī)房必須要有良好的透風(fēng)。負(fù)壓吸引系統(tǒng)附屬設(shè)備：雙重細(xì)菌過濾器：防止真空泵及真空罐被污染。不中斷氣流可替換過濾器：2個(gè)可交替使用的微粒過濾器。污物接收器：收集污染的及液體，保護(hù)真空系統(tǒng)正常運(yùn)轉(zhuǎn)，不中斷氣流可清理污染物。真空緩沖罐：防止真空泵頻繁起動。

高純氣體的配管及材質(zhì)，高純氣體管路的設(shè)計(jì)要點(diǎn)：1.對于不同特性的氣體，要規(guī)劃單獨(dú)的供應(yīng)區(qū)域，一般分為三個(gè)區(qū)：腐蝕性/毒性氣體區(qū)、可燃性氣體區(qū)、惰性氣體區(qū)，將相同性質(zhì)的氣體集中加強(qiáng)管理，可燃性氣體區(qū)要特別規(guī)劃防爆墻與泄漏口，若空間不足，可考慮將惰性氣體放置與毒性/腐蝕性氣體區(qū)。2.管路設(shè)計(jì)需要考慮輸送的距離，距離越長，成本越高，風(fēng)險(xiǎn)也越高，通常較合理的設(shè)計(jì)流速為20ml/S，可燃性氣體小于10ml/S,毒性/腐蝕性氣體小于8ml/S，在用量設(shè)計(jì)方面，則需要考慮使用點(diǎn)的壓力和管徑大小，前者與氣體特性有關(guān)，后者使用點(diǎn)的管徑一般為1/4”～3/8”。高純度氣體由管道輸送，能否將高純氣體送至用氣點(diǎn)仍保持質(zhì)量合格的關(guān)鍵是供氣系統(tǒng)設(shè)計(jì)合理、試驗(yàn)檢測合格。

進(jìn)行檢測和調(diào)試。在氣體管道施工完成后，需要進(jìn)行管道的檢測和調(diào)試工作。首先，進(jìn)行的氣體泄漏檢測，確保管道的密封性。其次，進(jìn)行的氣體流量的測試，確保氣體輸送的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性。通過檢測和調(diào)試，可以發(fā)現(xiàn)并解決潛在的問題，確保管道的正常運(yùn)行。然后，進(jìn)行驗(yàn)收和維護(hù)。當(dāng)實(shí)驗(yàn)室氣體管道設(shè)計(jì)與施工完成后，需要進(jìn)行驗(yàn)收工作。驗(yàn)收包括對管道的安全性、可靠性以及使用效果的檢查。只有通過驗(yàn)收，實(shí)驗(yàn)室能夠正式投入使用。同時(shí)，為了保證管道的正常運(yùn)行和使用壽命，還需要進(jìn)行定期的維護(hù)和保養(yǎng)工作，包括清洗、潤滑等。氧氣管道應(yīng)處于除氫氣管道外的其它氣體管道之上。江蘇隱藏式氣體管道設(shè)計(jì)流程

根據(jù)用氣設(shè)備的分布情況嗎，高純氣體的管網(wǎng)大小長短應(yīng)適宜，不宜過大或過長。杭州特殊氣體管道設(shè)計(jì)施工

儲氣罐選型通常一個(gè)供氣系統(tǒng)都有一個(gè)或多個(gè)儲氣罐。儲氣罐的大小是要匹配空壓機(jī)的氣量大小、控制方式和終端用氣需求的。儲氣罐具有多重功能：如緩沖罐（平衡來自壓縮機(jī)的脈動）、冷卻壓縮空氣和除去壓縮空氣中的冷凝水等。所以儲氣罐必須配置冷凝水排放裝置。下面這個(gè)公式可以用于儲氣罐大小的計(jì)算和選型，但該公式只適用于帶有加卸載控制功能的空壓機(jī)系統(tǒng)：儲氣罐容積 (l); qC = 壓縮機(jī) FAD (l/s); p1 = 壓縮機(jī)進(jìn)氣壓力 (bar(a)); T1 = 壓縮機(jī)較大進(jìn)氣溫度 (K); T0 = 儲氣罐中壓縮空氣溫度 (K); (pU -pL) = 加載與卸載之間的設(shè)定壓力差; fmax = 較大負(fù)載頻率 （1循環(huán)/30秒應(yīng)用于阿特拉斯·科普柯壓縮機(jī)）對于帶有可變速度控制（VSD）的壓縮機(jī)而言，所需的儲氣罐容積會較大程度上減少。當(dāng)使用上述公式時(shí)，qc應(yīng)視較低速度時(shí)的FAD。杭州特殊氣體管道設(shè)計(jì)施工